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一種平臺機構，適用于承載一晶圓。平臺機構包含一基座、一轉盤、一載具、至少一夾具以及至少一解扣件。轉盤可旋轉地設置于基座上。載具可移除地設置于轉盤上用以承載晶圓。至少一夾具樞設于轉盤上用以夾持載具，以讓載具固定于轉盤。至少一解扣件可活動地設置...
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