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    下載制造半導體器件的方法與3D存儲器件的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：20008602
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      本申請公開了一種制造半導體器件的方法與3D存儲器件。該方法包括：在半導體襯底上形成絕緣疊層結構，包括交替堆疊的第一層間絕緣層與第二層間絕緣層；貫穿所述絕緣疊層結構形成隔離結構；將所述隔離結構一側的所述第一層間絕緣層替換為柵極導體，形成第一柵...
    該專利屬于長江存儲科技有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過長江存儲科技有限責任公司授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
    詳細技術文檔下載地址
    


                      
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