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    下載晶圓承盤標示方法及其結構的技術資料

    文檔序號:24013362

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    一種晶圓承盤標示的成型方法,包含有下列步驟:一成型步驟為以塑料成型為一承盤本體,該承盤本體一側為一承載面,另一側為一底面,一周面位在該承載面與該底面間,且該周面連結該承載面及該底面。一被覆步驟為在該承盤本體的該周面或該底面設置一被覆層,該被...
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