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    下載泄漏檢查方法、泄漏檢查裝置、電鍍方法、以及電鍍裝置的技術資料

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    本發明提供泄漏檢查方法、泄漏檢查裝置、電鍍方法、以及電鍍裝置,能適當辨別泄漏的程度。本方法實施第一檢查,第一檢查中一邊對利用基板保持器的密封件形成的內部空間真空排氣,一邊測定內部空間的壓力,檢測上述壓力在規定的第一檢查時間內達到第一壓力閾值...
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