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本發明公開了一種LOADLOCK監控和自動復位系統及方法,該系統包括:設備主控制系統、機械手、光信號發射器、光信號接收器、數據分析判斷模塊和LOADLOCK,該設備主控制系統可發出信號使LOADLOCK及機械手開始運作;機械手將信號反饋給設...該專利屬于上海華虹NEC電子有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過上海華虹NEC電子有限公司授權不得商用。
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