本發明專利技術公開了一種ＬＯＡＤＬＯＣＫ監控和自動復位系統及方法，該系統包括：設備主控制系統、機械手、光信號發射器、光信號接收器、數據分析判斷模塊和ＬＯＡＤＬＯＣＫ，該設備主控制系統可發出信號使ＬＯＡＤＬＯＣＫ及機械手開始運作；機械手將信號反饋給設備主控制系統；光信號發射器可接收設備主控制系統信號，發出一列光信號；光信號接收器可檢測光信號發射器發來的光信號；數據分析判斷模塊可根據光接收信號器發來的數據進行處理和判斷，并反饋到設備主控制系統；ＬＯＡＤＬＯＣＫ可根據設備主控制系統給出的信號進行調整。該方法包括六個步驟。本發明專利技術可以檢測ＬＯＡＤＬＯＣＫ的位置偏差，防止在操作過程中硅片的劃傷。
LOADLOCK monitoring and automatic resetting system and method
The invention discloses a LOADLOCK monitoring and automatic resetting system and method, the system includes: equipment master control system, manipulator, optical signal transmitter and optical signal receiver, data analysis and judgment module and LOADLOCK, the main control system sends a signal to the LOADLOCK and the manipulator manipulator will start operation; the feedback signal to the the main equipment control system; optical signal transmitter signal receiving equipment main control system, a series of light signal; optical signal receiver can be sent to the optical signal detection optical signal transmitter; data analysis module can according to the received optical signal is sent to the data processing and judgment, and feedback to the equipment master control system; LOADLOCK can be adjusted according to the signal equipment main control system is given. The method consists of six steps. The invention can detect the position deviation of the LOADLOCK and prevent the scratch of the silicon wafer during operation.
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種自動監控和控制系統，尤其涉及是指一種L0ADL0CK監 控和自動復位系統及方法。
技術介紹
目前LOADLOCK (預裝載臺)的作用是讓被搬送物體從非真空狀態到 另高真空狀態前的過渡腔體，它可以達到一定程度的真空度，它的產生可 以省很多從大氣到高真空的抽真空時間，它自帶的感知器也能對硅片的缺 損進行檢測所以被廣泛運用于批量生產的高真空設備。但是，在半導體設備當中的應用，存在著LOADLOCK偏移導致硅片劃 傷的隱患，而此種隱患在目前的技術手段下無法事前預知和控制。 一旦發 生劃傷受害面將非常之大。因此，在此
中，需要一種LOADLOCK監控和自動復位系統， 可以有效監控LOADLOCK位置的偏差，同時對偏差量進行分析和判斷并做 出報警或對偏差進行自動調整。
技術實現思路
本專利技術要解決的技術問題是提供一種LOADLOCK監控和自動復位系統 及方法，可以檢測LOADLOCK的位置偏差，防止在操作過程中硅片的劃傷。為解決上述技術問題，本專利技術提供了一種LOADLOCK監控和自動復位 系統，其包括設備主控制系統、機械手、光信號發射器、光信號接收器、 數據分析判斷模塊和L0ADL0CK，其中設備主控制系統，可發出信號使LOADLOCK及機械手開始運作；機械手，將信號反饋給設備主控制系統； 光信號發射器，可接收設備主控制系統信號，發出一列光信號；光信號接 收器，可檢測光信號發射器發來的光信號；數據分析判斷模塊，可根據光 接收信號器發來的數據進行處理和判斷，并反饋到設備主控制系統； L0ADL0CK，可根據設備主控制系統給出的信號進行調整。為解決上述技術問題，本專利技術還提供了一種L0ADL0CK監控和自動復 位方法，可運用于上述系統上，包括如下步驟步驟一、設備主控制系統， 發出傳動信號使L0ADL0CK及機械手開始動作；步驟二、機械手，把到位 信號反饋給所述設備主控制系統；步驟三、光信號發射器，接收設備主控 制系統發出的機械手到位信號，發出一列光信號；步驟四、光信號接收器， 檢測光信號發射器發出的光信號并將數據發送給數據分析判斷模塊;步驟 五、數據分析判斷模塊，根據光接收信號器的數據進行處理和判斷，并把 判斷信號反饋到設備主控制系統；設備主控制系統發出指令給L0ADL0CK; 步驟六、L0ADL0CK將根據設備主控制系統給出的指令進行對應的步進調 整。上述步驟五判斷信號包括報警信號、正常作業信號或補正信號。 指令包括發出報警、正常作業或補正指令。上述步驟五具體指數據分 析判斷模塊，根據接收到的數據，先判斷是否超過異常報警的預定值，如 超過則發出報警信號給設備主控制系統，設備主控制系統發出報警指令， 如未超過，則發出正常作業信號反饋給設備主控制系統，設備主控制系統 發出正常作業的指令；同時，數據分析判斷模塊繼續與各標準進行比對或 運算，并調用其它批次數據進行分析和判斷后發現異常時，再次發出補正 信號反饋給設備主控制系統，設備主控制系統發出補正指令。上述判斷是否超過異常報警的預定值指l枚發生大于Zmax時，發出報警信號；或連 續5枚發生同一方向的偏差量大于Z2時，發出報警信號；或同批次中有 3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同向偏差但與前3枚是 反方向偏差時，發出報警信號；或連續5批每批都出現4枚或4枚以上超 過Zl且是同向偏差，而另有4枚或4枚以上超過Zl且同向偏差但與前幾 枚是反方向偏差時，發出報警信號；或如發現機械手的厚度與測得的值 Wrx偏差較大時，發出停機報警信號；或發現硅片的厚度與測得的值Wx 偏差較大時，發出停機報警信號。上述數據分析判斷模塊判斷發出補正信 號的標準有:如連續3批中每批都有4枚或4枚以上偏差超過Z2且是同向 偏差而其它硅片無反向偏差超Z2時，此時數據分析判斷模塊將3批中的 所有偏差量進行求平均，根據平均偏差量做出補正判斷，發出補正信號; 或如果20批制品中出現5批都有4枚或4枚以上偏差超過Z2且是同向偏 差而同批次中的其它硅片無反向偏差超Z2時，此時數據分析判斷模塊將 5批中的所有偏差量進行求平均，根據平均偏差量做出補正判斷，發出補 正信號;或如果連續3批中都有10枚以上發生偏差超過Zl且是同向偏差 而同批次中的其它硅片無反向偏差超Z1時，此時數據分析判斷模塊將3 批中的所有偏差量進行求平均，根據平均偏差量做出補正判斷，發出補正 信號。本專利技術由于采用上述系統及方法，可有效監控L0ADL0CK位置的偏差， 同時對偏差量進行分析和判斷并做出報警或對偏差進行自動調整的補正 指令。附圖說明圖l是本專利技術一個具體實施例的工作流程圖； 圖2是圖1實施例中系統的工作示意圖3是圖1實施例中光信號接收器與光信號發射器與機械手的相對位 置示意圖3中1為光線號發射器、2為機械手、3為Load lock閥門、4為 光線號收器。具體實施例方式本專利技術L0ADL0CK監控和自動復位系統包括設備主控制系統、機械手、 光信號發射器、光信號接收器、數據分析判斷模塊和LOADLOCK等，相應 的方法可在系統中展開。下面結合附圖與具體實施方式對本專利技術作進一步詳細的說明。如圖1所示，是本專利技術一個具體實施例的工作流程圖。首先是由設備主 控制系統發出搬送硅片的傳動信號使LOADLOCK先位移到指定的位置后機械 手動作，等機械手伸到硅片背面時(在Z軸動作前)，反饋一個到位信號給設 備主控制系統，由設備主控制系統觸發光信號發射器發出一列光信號，如 圖2所示，此系統由高密度的光信號發射器和光信號接收器組成，其光信號 發射器和接收器都為柱狀，同時數據分析模塊也被觸發。光穿過L0ADL0CK 中的片盒和硅片被光信號接收器檢測到(光信號接收器與光信號發射器是 同脈沖觸發，同觸發同關閉,減少其它反射和折射光的影響)，此時數據分析 判斷模塊根據光信號接收器的數據進行處理和判斷，并且所述數據分析判 斷模塊，其工作方式為'后臺運算方式'，不影響機械手的正常工作速度。判斷發出報警信號的標準有 ① l枚發生大于Zmax時，發出緊急停機報警信號；② 連續5枚發生同一方向的偏差量大于Z2時，發出報警信號(此時 可能L0ADL0CK發生步進電機偏差)；③ 同批次中有3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同 向偏差但與前3枚是反方向偏差時，發出報警信號(如L0ADL0CK位移偏 差)；④ 連續5批次中每批都出現4枚或4枚以上超過Zl且是同向偏差， 而另有4枚或4枚以上超過Zl且同向偏差但與前幾枚是反方向偏差時， 發出報警信號(如L0ADL0CK的步進馬達有老損等)；⑤ 如發現機械手的厚度與測得的值(Wrx)偏差較大時，發出停機報警信號(如機械手變形或感知器異常)；⑥ 如發現硅片的厚度與測得的值(Wx)偏差較大時，發出停機報警信 號(如硅片放錯片槽，L0ADL0CK傾斜或感知器異常等)。判斷發出補正信號的標準有① 如連續3批次中每批都有4枚或4枚以上偏差超過Z2且是同向偏 差而其它硅片無反向偏差超Z2時，此時數據分析判斷模塊將3批次中的 所有偏差量進行求平均，根據平均偏差量做出補正判斷，發出補正信號;② 如20批次制品中出現5批都有4枚或4枚以上偏差超過Z2且是 同向偏差而同片批中的其它硅片無反向偏差超Z2時，此時數據分本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種ＬＯＡＤＬＯＣＫ監控和自動復位系統，其特征在于，包括：設備主控制系統、機械手、光信號發射器、光信號接收器、數據分析判斷模塊和ＬＯＡＤＬＯＣＫ，其中，所述設備主控制系統，可發出信號使所述ＬＯＡＤＬＯＣＫ及機械手開始運作；所 述機械手，將信號反饋給所述設備主控制系統；所述光信號發射器，可接收所述設備主控制系統信號，發出一列光信號；所述光信號接收器，可接收所述設備主控制系統信號，與光信號發射器同脈沖觸發并檢測所述光信號發射器發來的光信號；所述數據分析判斷模塊，可根據所述光接收信號器發來的數據進行處理和判斷，并反饋到所述設備主控制系統；所述ＬＯＡＤＬＯＣＫ，可根據所述設備主控制系統給出的信號進行調整。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：沈堅，
申請(專利權)人：上海華虹NEC電子有限公司，
類型：發明
國別省市：31[中國|上海]
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