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本發(fā)明提供一種用于支撐襯底的支撐單元。支撐單元可包括：具有內部空間的支撐板；加熱構件，其布置在內部空間中并發(fā)射用于加熱由支撐單元支撐的襯底的光；以及反射構件，其設置在支撐板的邊緣區(qū)域處并且將光所具有的熱能反射到由支撐單元支撐的襯底的邊緣區(qū)域...該專利屬于細美事有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過細美事有限公司授權不得商用。
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