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在其中形成通孔的部分上形成具有相同寬度的位線和一對的兩條鎢布線，使得該位線和鎢布線以規(guī)則間隔布置。在該鎢布線之間形成用于連接到另一布線層連接的通孔。在該通孔上形成由鎢制成的連接布線，從而在該通孔周圍具有預(yù)先確定的裕度。在光刻處理中，形成具有...該專利屬于爾必達存儲器株式會社;株式會社日立ULSI系統(tǒng);株式會社日立制作所所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過爾必達存儲器株式會社;株式會社日立ULSI系統(tǒng);株式會社日立制作所授權(quán)不得商用。