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本實用新型提供一種壓力緩沖裝置及半導體設備，涉及壓力緩沖技術領域。壓力緩沖裝置包括相互連接的進氣管道和緩沖管道。所述進氣管道的一端用于與半導體裝置連接，另一端與所述緩沖管道連通，用于向所述緩沖管道輸送廢氣；所述緩沖管道設置有出氣口，所述出氣...該專利屬于上海盛劍半導體科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海盛劍半導體科技有限公司授權不得商用。
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本實用新型提供一種壓力緩沖裝置及半導體設備，涉及壓力緩沖技術領域。壓力緩沖裝置包括相互連接的進氣管道和緩沖管道。所述進氣管道的一端用于與半導體裝置連接，另一端與所述緩沖管道連通，用于向所述緩沖管道輸送廢氣；所述緩沖管道設置有出氣口，所述出氣...