本實用新型專利技術提供一種壓力緩沖裝置及半導體設備，涉及壓力緩沖技術領域。壓力緩沖裝置包括相互連接的進氣管道和緩沖管道。所述進氣管道的一端用于與半導體裝置連接，另一端與所述緩沖管道連通，用于向所述緩沖管道輸送廢氣；所述緩沖管道設置有出氣口，所述出氣口用于與所述廢氣處理裝置連接，通過使部分緩沖管道的內徑小于其余部分緩沖管道的內徑，以使廢氣流速加快、壓力減小，從而使在緩沖管道內產生一定壓差，可對廢氣處理裝置內產生的壓力波動起到緩沖作用，并使得與半導體裝置連接的進氣管道處的壓力保持穩定，進而使整個半導體設備系統穩定運行，避免裝置宕機造成經濟損失。避免裝置宕機造成經濟損失。避免裝置宕機造成經濟損失。
【技術實現步驟摘要】
一種壓力緩沖裝置及半導體設備
[0001]本技術涉及壓力緩沖
，具體而言，涉及一種壓力緩沖裝置及半導體設備。
技術介紹
[0002]在現代半導體制造的過程中會產生一些對人類及環境有害的氣體，這些氣體需要通過專門的處理設備使其變成無害氣體排放到大氣環境中。
[0003]現有的半導體設備產生的廢氣可直接輸送至廢氣處理設備，然而在廢氣處理設備運行過程中，其內部壓力會發生巨大變化，在此情況下會影響半導體主機臺的壓力也會產生巨大變化，從而導致半導體設備宕機，甚至使整個系統停機，從而無法正常生產，造成經濟損失。
技術實現思路
[0004]本技術的目的在于提供一種壓力緩沖裝置及半導體設備，其能夠起到壓力緩沖作用，以減少廢氣處理設備因壓力變化而對半導體裝置產生影響。
[0005]本技術的實施例是這樣實現的：
[0006]第一方面，本技術提供一種壓力緩沖裝置，包括相互連接的進氣管道和緩沖管道；
[0007]所述進氣管道的一端用于與半導體裝置連接，另一端與所述緩沖管道連通，用于向所述緩沖管道輸送廢氣；
[0008]所述緩沖管道設置有出氣口，所述出氣口用于與所述廢氣處理裝置連接，至少部分所述緩沖管道的內徑小于所述緩沖管道的其余內徑。
[0009]在上述實施例中，通過使部分緩沖管道的內徑小于其余部分緩沖管道的內徑，即使得緩沖管道具有縮徑結構，以使廢氣由進氣管道輸送至緩沖管道內徑減小的部分的情況下流速加快，并且使得緩沖管道內壓力減小，從而使得緩沖管道在進氣管道和緩沖管道的出氣口產生一定壓差，以此對廢氣處理裝置內產生的壓力波動起到緩沖作用，并使得與半導體裝置連接的進氣管道處的壓力保持穩定，進而使整個半導體設備系統穩定運行，避免裝置宕機造成經濟損失。
[0010]在可選的實施方式中，所述緩沖管道包括相互連通第一管道和第二管道，所述第一管道與所述進氣管道連通，所述出氣口設置于所述第二管道，所述第二管道包括等徑段，所述等徑段的內徑小于所述第一管道的內徑。
[0011]在上述實施例中，進氣管道、第一管道、第二管道以及出氣口依次連通，等徑段設置在靠近出氣口的第二管道上，以保證廢氣由出氣口流出緩沖管道之前通過等徑段使得廢氣流速加速，從而使得壓力減小，以在進氣管道和出氣口之間產生一定壓差以起到緩沖作用。
[0012]在可選的實施方式中，所述第二管道還包括縮徑段和擴徑段，所述縮徑段、所述等
徑段以及所述擴徑段依次連接；
[0013]所述縮徑段和所述擴徑段的內壁均為錐形曲面，且沿所述廢氣的流通方向，所述縮徑段的內徑逐漸減小，所述擴徑段的內徑逐漸增大，所述縮徑段和所述擴徑段的最小內徑與所述等徑段的內徑相同。
[0014]在上述實施例中，縮徑段的內徑逐漸減小直至與等徑段的內徑相同，縮徑段可使得從第一管道流向第二管道的廢氣起到收縮導流的作用，保證廢氣在縮徑段的限制下集中向等徑段流動。通過設置縮徑段使廢氣的流經路徑的內徑逐漸減小，以達到加快廢氣流速的目的；擴徑段的內徑逐漸增大，可使得廢氣從等徑段流向擴徑段后有利于形成氣體流場，從而在廢氣流速快的情況下在此處產生較大的負壓。
[0015]在可選的實施方式中，所述縮徑段的軸截面的斜邊所在的直線與所述縮徑段的軸線呈第一夾角設置；所述擴徑段的軸截面的斜邊所在的直線與所述擴徑段的軸線呈第二夾角，所述第一夾角大于所述第二夾角。
[0016]在上述實施例中，通過第一夾角大于第二夾角，有利于廢氣在縮徑段內迅速收縮，從而有效地提高廢氣在經過等徑段的流速；而廢氣在擴徑段擴散，保證廢氣的流速大、壓力小，進而產生較大的負壓。
[0017]在可選的實施方式中，所述第一夾角為21
°
～25
°
。
[0018]在上述實施例中，第一角度過大會導致阻力較大，第一角度過小不利于氣體快速流動至等徑段。因此，通過將第一夾角設置在21
°
～25
°
，可使得廢氣在縮徑段迅速收縮，且廢氣所受阻力小，能量損失小。
[0019]在可選的實施方式中，所述第二夾角為7
°
～15
°
。
[0020]在上述實施例中，第二夾角過大或過小不利于形成目標流場，從而不利于形成較大的負壓。因此將第二夾角設置在7
°
～15
°
，可以得到較好的目標流場，以使此處廢氣的流速大、壓力小，進而能得到較大的負壓。
[0021]在可選的實施方式中，所述壓力緩沖裝置還包括輸氣管道，所述輸氣管道的一端設置于所述緩沖管道外，另一端設置于所述擴徑段內，所述輸氣管道用于向所述緩沖管道輸入惰性氣體。
[0022]在上述實施例中，通過輸氣管道向擴徑段輸入高壓惰性氣體，可使得廢氣在擴徑段內的流速進一步增加，從而使得靜壓更小，進而使得進氣管道與出氣口處的壓差進一步加大。
[0023]在可選的實施方式中，所述輸氣管道的出氣端與所述等徑段和所述擴徑段的連接處的間距為1mm～10mm。
[0024]在上述實施例中，輸氣管道的出氣端與等徑段的末端間距1mm～10mm，既可利于通入的惰性氣體與廢氣在擴徑段內形成目標流場，又可使得廢氣在擴徑段內的流速得到進一步的增加，以使壓力進一步減小。
[0025]在可選的實施方式中，所述輸氣管道所在的直線與所述緩沖管道的軸線重合。
[0026]在上述實施例中，輸氣管道穿設在緩沖管道的中心，有利于通入的惰性氣體與廢氣形成目標流場，也可減少輸氣管道對廢氣流動產生的影響。
[0027]第二方面，本技術提供一種半導體設備，包括如前述實施方式任一項所述的壓力緩沖裝置、半導體裝置以及廢氣處理裝置，所述壓力緩沖裝置的所述進氣管道與所述
半導體裝置連接，所述出氣口與所述廢氣處理裝置連接。
[0028]本技術實施例提供的壓力緩沖裝置及半導體設備的有益效果包括：通過使部分緩沖管道的內徑小于其余部分緩沖管道的內徑，即使得緩沖管道具有縮徑結構，以使廢氣由進氣管道輸送至緩沖管道內徑減小的部分的情況下流速加快，并且使得緩沖管道內壓力減小，從而使得緩沖管道在進氣管道和緩沖管道的出氣口產生一定壓差，以此對廢氣處理裝置內產生的壓力波動起到緩沖作用，并使得與半導體裝置連接的進氣管道處的壓力保持穩定，進而使整個半導體設備系統穩定運行，避免裝置宕機造成經濟損失。
附圖說明
[0029]為了更清楚地說明本技術實施例的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本技術的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。
[0030]圖1為本技術實施例提供的壓力緩沖裝置結構示意圖；
[0031]圖2為圖1中壓力緩沖裝置的A
?
A方向剖視圖。
[0032]圖標：10
?<本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種壓力緩沖裝置，其特征在于，包括相互連接的進氣管道(100)和緩沖管道(200)；所述進氣管道(100)的一端用于與半導體裝置連接，另一端與所述緩沖管道(200)連通，用于向所述緩沖管道(200)輸送廢氣；所述緩沖管道(200)設置有出氣口(210)，所述出氣口(210)用于與廢氣處理裝置連接，至少部分所述緩沖管道(200)的內徑小于所述緩沖管道(200)的其余內徑。2.根據權利要求1所述的壓力緩沖裝置，其特征在于，所述緩沖管道(200)包括相互連通第一管道(220)和第二管道(230)，所述第一管道(220)與所述進氣管道(100)連通，所述出氣口(210)設置于所述第二管道(230)，所述第二管道(230)包括等徑段(232)，所述等徑段(232)的內徑小于所述第一管道(220)的內徑。3.根據權利要求2所述的壓力緩沖裝置，其特征在于，所述第二管道(230)還包括縮徑段(231)和擴徑段(233)，所述縮徑段(231)、所述等徑段(232)以及所述擴徑段(233)依次連接；所述縮徑段(231)和所述擴徑段(233)的內壁均為錐形曲面，且沿所述廢氣的流通方向，所述縮徑段(231)的內徑逐漸減小，所述擴徑段(233)的內徑逐漸增大，所述縮徑段(231)和所述擴徑段(233)的最小內徑與所述等徑段(232)的內徑相同。4.根據權利要求3所述的壓力緩沖裝置，其特征在于，所述縮徑段(231)的軸截面的斜...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張偉明，丁宇，余歡，石教杰，
申請(專利權)人：上海盛劍半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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