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本發(fā)明涉及基板支撐裝置用基板支撐組裝體，包括：夾頭底座，當(dāng)設(shè)置基板時，與上述基板相向配置，在外周面附近的下部，沿著周圍方向形成設(shè)置收納部，能夠以旋轉(zhuǎn)軸為中心進行旋轉(zhuǎn)；夾頭銷，配置在上述夾頭底座的上部，能夠沿著遠離或靠近上述基板的方向移動；器...該專利屬于得八益十意恩至所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過得八益十意恩至授權(quán)不得商用。