本發明專利技術涉及基板支撐裝置用基板支撐組裝體，包括：夾頭底座，當設置基板時，與上述基板相向配置，在外周面附近的下部，沿著周圍方向形成設置收納部，能夠以旋轉軸為中心進行旋轉；夾頭銷，配置在上述夾頭底座的上部，能夠沿著遠離或靠近上述基板的方向移動；器具部，配置在上述設置收納部內，與上述夾頭銷相連接，用于使夾頭銷移動；以及驅動部，用于向上述器具部傳遞動力，因此，可以使器具部集中配置于在夾頭底座的外周面附近的下部沿著周圍方向形成的設置收納部內，當從俯視圖觀察時，可在被上述設置收納部包圍的包括上述旋轉軸的內側空間內置執行各種功能的多個電子設備或機械部件，從而內部可緊湊形成，在空間使用方面有利。有利。有利。
【技術實現步驟摘要】
基板處理裝置用基板支撐組裝體
[0001]本專利技術涉及基板處理裝置用基板支撐組裝體，更詳細地，涉及如下的基板支撐組裝體，即，為了清潔或干燥等半導體工序，在支撐基板的狀態下使其進行旋轉。
技術介紹
[0002]通常，半導體設備是通過在基板上以薄膜形態蒸鍍多種物質并將其碳化來制造的，為此，需要進行蒸鍍工序、光刻工序、蝕刻工序、清潔工序及干燥工序等多種不同步驟的工序。
[0003]其中，清潔工序和干燥工序為去除存在于上述基板上的異物或粒子等之后進行干燥的工序，通過在將基板支撐在旋轉頭部(夾頭底座)上的狀態下使其高速旋轉并向基板的表面或背面供給處理液來進行。
[0004]通常，當上述旋轉頭部旋轉時，為了防止基板向旋轉頭部的側方向脫離而沿著上述旋轉頭部的周圍方向設置多個夾頭銷，包括上述夾頭銷、旋轉頭部、器具部(機構)及用于驅動上述器具部的驅動部來構成基板支撐裝置。
[0005]上述多個夾頭銷具有如下結構，即，在基板被把持在旋轉頭部上的把持位置與從基板分離的解除位置之間移動。
[0006]但是，在現有技術的基板支撐裝置中，與夾頭銷連接的器具部等的結構要要素較多，因此極為復雜，由于需要收容這種結構要素，導致在內部收容其他部件的空間并不充分，因此存在總體積增加的問題。
[0007]因此，根據現有技術，當更換報廢的夾頭銷時，為使上述夾頭銷完全露出而需要全部解除上部結構，因此，維修所需時間和所要花費的精力過多。
[0008]現有技術文獻
[0009]專利文獻
[0010]專利文獻1：韓國授權專利公報第10
?
1145775號(2012年05月07日)
技術實現思路
[0011]本專利技術為了解決上述現有技術的問題而提出，本專利技術的目的在于，提供如下的基板處理裝置用基板支撐組裝體，即，可在旋轉頭部的外周面附近集中配置用于移動夾頭銷的器具部等，在內側設置可通過確保充分的空間來執行各種功能的多個部件，從而可以實現緊湊的結構，同時，可以輕松且迅速地執行夾頭銷的更換等維修工作，從而可以防止生產性下降。
[0012]為了實現上述目的，本專利技術的基板處理裝置用基板支撐組裝體的特征在于，包括：夾頭底座，當設置基板時，與上述基板相向配置，在外周面附近的下部，沿著周圍方向形成設置收納部，能夠以旋轉軸為中心進行旋轉；夾頭銷，配置在上述夾頭底座的上部，能夠沿著遠離或靠近上述基板的方向移動；器具部，配置在上述設置收納部內，與上述夾頭銷相連接，用于使夾頭銷移動；以及驅動部，用于向上述器具部傳遞動力。
[0013]本專利技術的特征在于，上述設置收納部的基板半徑方向的寬度可處于上述基板半徑的1/5～1/3內的范圍。
[0014]本專利技術的特征在于，上述夾頭銷、器具部及驅動部的組裝體以旋轉軸為中心，以等間隔分別配置2組以上。
[0015]本專利技術的特征在于，上述器具部包括：第一工作片，通過上述驅動部，能夠沿著上述旋轉軸方向進行恢復移動；以及第二工作片，沿著長度方向，一側與上述第一工作片接觸，在另一側設置有上述夾頭銷，在上述一側與另一側之間，以設置于上述夾頭底座的鉸鏈軸為中心，以能夠恢復的方式進行鉸鏈移動。
[0016]本專利技術的特征在于，在與上述第一工作片接觸的第二工作片的一側形成傾斜面，隨著上述第一工作片沿著旋轉軸方向上升，上述第二工作片以上述鉸鏈軸為中心進行鉸鏈移動。
[0017]本專利技術的特征在于，在上述第一工作片與夾頭底座之間，設置沿著在旋轉軸方向上相互遠離的方向施加恢復力的第一彈簧或施加磁力的第一磁鐵，以使上述夾頭銷朝向把持位置的方式在上述第二工作片與夾頭底座之間設置施加恢復力的第二彈簧或施加磁力的第二磁鐵。
[0018]本專利技術的特征在于，在上述第二工作片中，以上述鉸鏈軸為中心，朝向上述夾頭銷的部分配置在朝向上述第一工作片的部分的上方，朝向上述夾頭銷的部分通過分離壁從朝向上述第一工作片的部分沿著上下方向分離。
[0019]本專利技術的特征在于，當從俯視圖觀察時，上述第二工作片沿著上述夾頭底座的周圍方向以圓弧形延伸。
[0020]本專利技術的特征在于，上述第一工作片可沿著在設置收納部內垂直配置的2個導桿上下移動，2個上述導桿中的一個被第一彈簧包圍。
[0021]本專利技術的特征在于，上述夾頭銷、第二工作片、構成上述夾頭底座的導電介質及用于驅動上述夾頭底座旋轉的馬達電連接。
[0022]本專利技術的特征在于，在上述夾頭底座的外周面形成檢驗孔，使得朝向上述夾頭銷的部分露出。
[0023]本專利技術的特征在于，朝向上述第一工作片的部分的重量大于朝向上述夾頭銷的部分的重量。
[0024]或者，本專利技術的特征在于，在上述第二工作片中，在朝向上述第一工作片的部分附著密度大于上述第二工作片的密度的輔助配重，朝向上述第一工作片的部分的重量與輔助配重的重量之和大于朝向上述夾頭銷的部分的重量。
[0025]本專利技術的特征在于，在上述夾頭底座的設置收納部內側或分離壁形成擋止部，上述擋止部與從上述夾頭底座的半徑方向內側朝向上述夾頭銷的部分沿著側方向相向。
[0026]本專利技術的特征在于，上述驅動部包括：推桿，與上述器具部接觸；以及驅動單元，與上述推桿連接。
[0027]本專利技術的特征在于，在上述第一工作片的下端形成連接槽，在上述推桿的上端突出形成工作突出部，以便與上述第一工作片的連接槽互補性地結合。
[0028]本專利技術的特征在于，上述驅動單元包括：支撐框架，沿著周圍方向設置有多個推桿；加壓桿，與上述支撐框架連接，相對于上述推桿向內側隔開配置；以及驅動源，相對于上
述推桿向內側隔開配置，與上述加壓桿連接，在上述推桿與加壓桿之間形成幕墻。
[0029]本專利技術的特征在于，本專利技術包括以密封式包圍上述驅動源的外罩，通過上述外罩的上端，上述驅動源與加壓桿連接。
[0030]根據具有上述結構的本專利技術的基板處理裝置用基板支撐組裝體，本專利技術的特征在于，包括：夾頭底座，當設置基板時，與上述基板相向配置，在外周面附近的下部，沿著周圍方向形成設置收納部，能夠以旋轉軸為中心進行旋轉；夾頭銷，在上述夾頭底座的上部，可沿著遠離或靠近上述基板的方向移動；器具部，配置在上述設置收納部內，與上述夾頭銷相連接，用于使夾頭銷移動；以及驅動部，用于向上述器具部傳遞動力，因此，可以使器具部集中配置于在夾頭底座的外周面附近的下部沿著周圍方向形成的設置收納部內，當從俯視圖觀察時，可在被上述設置收納部包圍的包括上述旋轉軸的內側空間內置用于執行各種功能的多個電子設備或機械部件，從而內部可緊湊形成，在空間使用方面有利。
[0031]并且，根據本專利技術，上述器具部可包括：第一工作片，通過驅動部，可沿著上述旋轉軸方向進行恢復移動；以及第二工作片，沿著長度方向，一側與上述第一工作片接觸，在另一側設置有上述夾頭銷，在上述一側與另一側之間，以設置于上述夾頭底座的鉸鏈軸為中心，以能夠恢復的方式進行鉸鏈移動，若上述驅動部進行工作來移動第一工作片，則與上述第一工作片接觸的第二本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，包括：夾頭底座，當設置基板時，與上述基板相向配置，在外周面附近的下部，沿著周圍方向形成設置收納部，能夠以旋轉軸為中心進行旋轉；夾頭銷，配置在上述夾頭底座的上部，能夠沿著遠離或靠近上述基板的方向移動；器具部，配置在上述設置收納部內，與上述夾頭銷相連接，用于使夾頭銷移動；以及驅動部，用于向上述器具部傳遞動力。2.根據權利要求1所述的基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，上述設置收納部的基板半徑方向的寬度處于上述基板半徑的1/5～1/3內的范圍。3.根據權利要求1所述的基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，上述夾頭銷、器具部及驅動部的組裝體以旋轉軸為中心，以等間隔分別配置2組以上。4.根據權利要求1所述的基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，上述器具部包括：第一工作片，通過上述驅動部，能夠沿著上述旋轉軸方向進行恢復移動；以及第二工作片，沿著長度方向，一側與上述第一工作片接觸，在另一側設置有上述夾頭銷，在上述一側與另一側之間，以設置于上述夾頭底座的鉸鏈軸為中心，以能夠恢復的方式進行鉸鏈移動。5.根據權利要求4所述的基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，在與上述第一工作片接觸的第二工作片的一側形成傾斜面，隨著上述第一工作片沿著旋轉軸方向上升，上述第二工作片以上述鉸鏈軸為中心進行鉸鏈移動。6.根據權利要求4所述的基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，在上述第一工作片與夾頭底座之間，設置沿著在旋轉軸方向上相互遠離的方向施加恢復力的第一彈簧或施加磁力的第一磁鐵，以使上述夾頭銷朝向把持位置的方式在上述第二工作片與夾頭底座之間設置施加恢復力的第二彈簧或施加磁力的第二磁鐵。7.根據權利要求4所述的基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，在上述第二工作片中，以上述鉸鏈軸為中心，朝向上述夾頭銷的部分配置在朝向上述第一工作片的部分的上方，朝向上述夾頭銷的部分通過分離壁從朝向上述第一工作片的部分沿著上下方向分離。8.根據權利要求4所述的基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，當從上方觀察時，上述第二工作片沿著上述夾頭底座的周圍方向以圓弧形延伸。9.根據權利要求4所述的基板處理裝置用基板支撐組裝體，其特征在于，上述第一工作片能夠...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李澤燁，
申請(專利權)人：得八益十意恩至，
類型：發明
國別省市：
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