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    下載一種微型變壓器隔離層的制備方法的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：37842214
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      本發明涉及一種微型變壓器隔離層的制備方法，步驟包括：選用N型&lt;100&gt;雙拋圓片為襯底；雙拋圓片上蒸發一層鋁，在鋁層表面進行光刻，形成光刻圖形；將光刻后的雙拋圓片放入鋁腐蝕液中進行腐蝕，去除雙拋圓片表面的光刻圖形，...
    該專利屬于北京微電子技術研究所所有，僅供學習研究參考，未經過北京微電子技術研究所授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
    詳細技術文檔下載地址
    


                      
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