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本申請實施例提供一種橫向電場激勵諧振器及其制造方法。該橫向電場激勵諧振器包括：襯底(105)；介質層(104)，其通過金屬鍵合層(104M，105M)被設置于襯底的表面，介質層的表面具有凹陷部；單晶壓電薄膜(101)，其被支承于凹陷部的外周...
該專利屬于天津大學所有，僅供學習研究參考，未經過天津大學授權不得商用。

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