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本發(fā)明提供一種適用于原位分析的微型CVD爐,包括：法蘭支架一、法蘭支架二、加熱爐組件、光學(xué)顯微鏡、調(diào)節(jié)組件以及電路控制組件，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下的有益效果：通過(guò)在加熱爐組件中安裝加熱件一、加熱件二，加熱件一、加熱件二均為是以氮化硅...該專(zhuān)利屬于合肥科晶材料技術(shù)有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)合肥科晶材料技術(shù)有限公司授權(quán)不得商用。