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本技術屬于半導體設備運動平臺技術領域，具體公開了一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，包括大理石基準平臺、六自由度運動平臺、零位基準臺、固定基座、滑動橫梁，所述六自由度運動平臺設置在大理石基準平臺中間的位置，零位基準臺和固定基座分別...該專利屬于上海大塵微影半導體科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海大塵微影半導體科技有限公司授權不得商用。
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本技術屬于半導體設備運動平臺技術領域，具體公開了一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，包括大理石基準平臺、六自由度運動平臺、零位基準臺、固定基座、滑動橫梁，所述六自由度運動平臺設置在大理石基準平臺中間的位置，零位基準臺和固定基座分別...