【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體設備運動平臺，具體為一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構。
技術介紹
1、六自由度運動平臺包括粗動臺和微動臺兩個部分，其中微動臺實現x、y、z、rx、ry和rz小范圍內的運動和定位，粗動部分實現x、y長行程范圍內的運動和定位，兩者結合共同實現大范圍內六自由的運動和定位。微動臺動子和定子之間存在間隙，工作時動子相對定子是懸浮的，圍繞著一個零點位置進行轉動和移動；斷電不工作時，在重力作用下，動子隨機落在定子的限位機構上。六自由度運動平臺的機械零點通常作為裝配基準點，該機械零點是用來保證運動平臺和整機其它部件的相對位置關系，因此需要確定該機械零點在整機中具體位置，從而保證運動平臺在整機中的裝配精度。該零點位置是空間的某一點，由于運動平臺的裝配和控制誤差等因素，使用其本身的傳感器無法準確地測量該零點在空間中的具體位置，因此需要使用第三方傳感器測量并標定零點在空間的具體位置。
2、現有技術通常采用六自由度運動平臺本身的傳感器和限位機構來標定機械零位，或者采用整機的零位傳感器進行機械零位的標定。第一種方法由于缺乏第三方傳感器的校驗，設置的機械零位在整機中誤差較大，且存在較大的偏心，容易導致運動臺的轉角行程不對稱。第二種方法雖然機械零位測量精度高，但是標定前無法獲得零點的實際位置，需要反復校準，才能確定零點的位置和運動平臺在整機中裝配精度。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，以解決上述
技術介紹
中所提出的問題。<...
【技術保護點】
1.一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：包括大理石基準平臺(1)、六自由度運動平臺(2)、零位基準臺(3)、固定基座(10)、滑動橫梁(6)和控制器(11)，所述六自由度運動平臺(2)設置在大理石基準平臺(1)中間的位置，零位基準臺(3)和固定基座(10)分別設置在六自由度運動平臺(2)附近，固定基座(10)上方滑動連接有滑動導軌(9)，滑動橫梁(6)固定在滑動導軌(9)上，滑動橫梁(6)端部設置有第一激光測距儀(5)，滑動橫梁(6)下方靠近中間的位置設有轉接件(7)，轉接件(7)上設有第二激光測距儀(8)；六自由度運動平臺(2)包括粗動X軸(201)、粗動Y軸(202)、微動臺(203)，粗動Y軸(202)設置在粗動X軸(201)上方，微動臺(203)設置在粗動Y軸(202)上，微動臺(203)上方設置有超平片(4)，并且微動臺(203)的側邊設置有X軸反射鏡(204)和Y軸反射鏡(205)。
2.根據權利要求1所述的一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：所述粗動X軸(201)包括X軸直線導軌(206)、X軸直線電機(207
3.根據權利要求1所述的一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：所述粗動Y軸(202)包括Y軸直線導軌(212)、Y軸直線電機(213)、Y軸固定座(214)、Y軸光柵尺(215)以及Y軸讀數頭(216)，Y軸固定座(214)滑動連接在X軸直線導軌(206)上，并且Y軸固定座(214)通過X軸直線電機(207)驅動，Y軸直線導軌(212)設置在Y軸固定座(214)上方靠近側邊的位置，Y軸光柵尺(215)和Y軸讀數頭(216)設置在Y軸固定座(214)靠近中間的位置，Y軸直線導軌(212)上方滑動連接有滑動臺(211)，滑動臺(211)通過Y軸直線電機(213)驅動。
4.根據權利要求1所述的一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：所述微動臺(203)包括電渦流傳感器(217)、音圈電機(218)、微動固定座(219)以及微動承載臺(220)，所述微動固定座(219)固定在滑動臺(211)上，微動固定座(219)和微動承載臺(220)之間均勻設置有六個電渦流傳感器(217)和六個音圈電機(218)，多個音圈電機(218)的兩端分別通過螺栓與微動固定座(219)和微動承載臺(220)連接。
5.根據權利要求1所述的一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：所述超平片(4)、X軸反射鏡(204)、Y軸反射鏡(205)分別均固定在微動承載臺(220)上，并且超平片(4)位于微動承載臺(220)正中間，X軸反射鏡(204)和Y軸反射鏡(205)分別固定在微動承載臺(220)側邊。
6.根據權利要求1所述的一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：所述控制器(11)分別與第一激光測距儀(5)、第二激光測距儀(8)、X軸讀數頭(210)、X軸直線電機(207)、Y軸讀數頭(216)、Y軸直線電機(213)、電渦流傳感器(217)、音圈電機(218)之間采用電性連接。
...【技術特征摘要】
1.一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：包括大理石基準平臺(1)、六自由度運動平臺(2)、零位基準臺(3)、固定基座(10)、滑動橫梁(6)和控制器(11)，所述六自由度運動平臺(2)設置在大理石基準平臺(1)中間的位置，零位基準臺(3)和固定基座(10)分別設置在六自由度運動平臺(2)附近，固定基座(10)上方滑動連接有滑動導軌(9)，滑動橫梁(6)固定在滑動導軌(9)上，滑動橫梁(6)端部設置有第一激光測距儀(5)，滑動橫梁(6)下方靠近中間的位置設有轉接件(7)，轉接件(7)上設有第二激光測距儀(8)；六自由度運動平臺(2)包括粗動x軸(201)、粗動y軸(202)、微動臺(203)，粗動y軸(202)設置在粗動x軸(201)上方，微動臺(203)設置在粗動y軸(202)上，微動臺(203)上方設置有超平片(4)，并且微動臺(203)的側邊設置有x軸反射鏡(204)和y軸反射鏡(205)。
2.根據權利要求1所述的一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：所述粗動x軸(201)包括x軸直線導軌(206)、x軸直線電機(207)、x軸固定座(208)、x軸光柵尺(209)以及x軸讀數頭(210)，x軸固定座(208)固定在大理石基準平臺(1)上，x軸直線導軌(206)設置在x軸固定座(208)上方靠近側邊的位置，x軸光柵尺(209)和x軸讀數頭(210)設置在x軸固定座(208)靠近中間的位置。
3.根據權利要求1所述的一種六自由度運動平臺機械零位離線快速校準機構，其特征在于：所述粗動y軸(202)包括y軸直線導軌(212)、y軸直線電機(213)、y軸固定座(214)、y軸光柵尺(215)以...
【專利技術屬性】
技術研發人員：文衛朋，樊總占，徐燕祎，李津銘，段萌萌，
申請(專利權)人：上海大塵微影半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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