【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及半導(dǎo)體測試，特別是涉及一種電源板卡、電源板卡的精度補償方法和測試機。
技術(shù)介紹
1、半導(dǎo)體自動化測試，指的是利用自動測試設(shè)備（automatic?test?equipment，ate）對待測試器件（device?under?test，dut）的各項參數(shù)指標進行檢測，剔除殘次品以控制半導(dǎo)體器件的出廠品質(zhì)。電源板卡在半導(dǎo)體測試設(shè)備中用于給被測芯片提供電壓或電流激勵，通常具有電壓輸出（fv）、電壓測量（mv）、電流輸出（fi）和電流測量（mi）功能及其組合。
2、電源板卡的mi電路多采用高端采樣，mi值為采樣電阻兩端的差模電壓除以采樣電阻，此時被測單元dut上的電壓和線阻產(chǎn)生的電壓和，會成為mi采樣電阻兩端的共模信號，在使用減法器計算采樣電阻兩端的差模電壓時會受到該共模電壓的影響，從而影響mi的精度。在數(shù)字環(huán)路控制的電源板卡中，fi的精度由mi的精度來決定，因此fi和mi都會受到共模電壓的影響，特別是在高精度指標下，fi和mi在較高電壓下的誤差是無法接受的。如何提高電源板卡的fi和mi的精度，是一個亟待解決的問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、基于此，有必要針對上述問題，提供一種可提高fi和mi精度的電源板卡、電源板卡的精度補償方法和測試機。
2、本申請第一方面提供一種電源板卡，包括控制模塊、前向輸出通道模塊、電流測量通道模塊、電壓測量通道模塊和通道切換模塊，所述控制模塊連接所述前向輸出通道模塊、所述電流測量通道模塊、所述電壓測量通道模塊和所述通道切換模塊，所述前
3、所述控制模塊用于在測量電流時，控制所述通道切換模塊接入所述負載，使所述前向輸出通道模塊輸出測試信號至所述負載，并讀取所述電流測量通道模塊的電流測量值，和所述電壓測量通道模塊的電壓測量值；以及根據(jù)讀取的電流測量值、電壓測量值和預(yù)設(shè)的補償參考數(shù)據(jù)進行測量電流補償，得到補償后的電流；
4、所述控制模塊還用于在輸出電流時，控制所述通道切換模塊接入所述負載，使所述前向輸出通道模塊根據(jù)設(shè)定電流值輸出電流至所述負載，讀取所述電流測量通道模塊的電流測量值，和所述電壓測量通道模塊的電壓測量值；以及根據(jù)讀取的電流測量值、電壓測量值和預(yù)設(shè)的補償參考數(shù)據(jù)對所述設(shè)定電流值進行補償?shù)玫窖a償后的設(shè)定電流，并根據(jù)補償后的設(shè)定電流控制所述前向輸出通道模塊輸出電流；
5、其中，所述補償參考數(shù)據(jù)為所述通道切換模塊接入校準模塊或所述負載時，根據(jù)所述電流測量通道模塊和所述電壓測量通道模塊的測量數(shù)據(jù)進行計算得到。
6、在其中一個實施例中，所述控制模塊包括控制器和存儲器，所述控制器連接所述前向輸出通道模塊、所述電流測量通道模塊、所述電壓測量通道模塊、所述通道切換模塊和所述存儲器；所述控制器控制所述通道切換模塊接入校準模塊或所述負載時，獲取所述電流測量通道模塊和所述電壓測量通道模塊的測量數(shù)據(jù)發(fā)送至上位機，接收所述上位機根據(jù)所述測量數(shù)據(jù)計算得到的補償參考數(shù)據(jù)存入所述存儲器。
7、在其中一個實施例中，所述前向輸出通道模塊包括數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊u5和增益可編程功放模塊u6，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊u5連接所述控制模塊和所述增益可編程功放模塊u6，所述增益可編程功放模塊u6連接所述電流測量通道模塊。
8、在其中一個實施例中，所述電流測量通道模塊包括模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊u2、增益可編程運算放大模塊u3、減法器u4和檔位調(diào)節(jié)電路，所述檔位調(diào)節(jié)電路連接所述前向輸出通道模塊、所述通道切換模塊和所述控制模塊，所述減法器u4連接所述檔位調(diào)節(jié)電路和所述增益可編程運算放大模塊u3，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊u2連接所述增益可編程運算放大模塊u3和所述控制模塊。
9、在其中一個實施例中，所述電壓測量通道模塊包括模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊u7、增益可編程運算放大模塊u8和減法器u9，所述減法器u9連接所述通道切換模塊和所述增益可編程運算放大模塊u8，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊u7連接所述增益可編程運算放大模塊u8和所述控制模塊。
10、在其中一個實施例中，所述通道切換模塊包括開關(guān)hf、開關(guān)lf、開關(guān)hs、開關(guān)ls、開關(guān)k1、開關(guān)k2、開關(guān)k3、開關(guān)k4和開關(guān)k5；所述開關(guān)k1的第一端連接所述電流測量通道模塊和所述開關(guān)hf的靜觸點，所述開關(guān)k1的第二端連接所述電壓測量通道模塊和所述開關(guān)k4的第一端，所述開關(guān)hf的第一動觸點連接所述校準模塊的第一端，所述開關(guān)hf的第二動觸點連接所述負載的第一端，所述開關(guān)k4的第二端連接所述開關(guān)k3的第一端和所述開關(guān)hs的靜觸點，所述開關(guān)hs的第一動觸點連接所述校準模塊的第一端，所述開關(guān)hs的第二動觸點連接所述負載的第一端；所述開關(guān)k2的第一端連接所述電壓測量通道模塊和所述開關(guān)k5的第一端，所述開關(guān)k2的第二端連接接地端和所述開關(guān)lf的靜觸點，所述開關(guān)lf的第一動觸點連接所述校準模塊的第二端，所述開關(guān)lf的第二動觸點連接所述負載的第二端，所述開關(guān)k5的第二端連接所述k3的第二端和所述開關(guān)ls的靜觸點，所述開關(guān)ls的第一動觸點連接所述校準模塊的第二端，所述開關(guān)ls的第二動觸點連接所述負載的第二端。
11、本申請第二方面提供一種電源板卡的精度補償方法，包括：
12、在測量電流時，控制通道切換模塊接入負載，使前向輸出通道模塊輸出測試信號至所述負載，并讀取電流測量通道模塊的電流測量值，和電壓測量通道模塊的電壓測量值，根據(jù)讀取的電流測量值、電壓測量值和預(yù)設(shè)的補償參考數(shù)據(jù)進行測量電流補償，得到補償后的電流；
13、在輸出電流時，控制所述通道切換模塊接入所述負載，使所述前向輸出通道模塊根據(jù)設(shè)定電流值輸出電流至所述負載，讀取所述電流測量通道模塊的電流測量值，和所述電壓測量通道模塊的電壓測量值，根據(jù)讀取的電流測量值、電壓測量值和預(yù)設(shè)的補償參考數(shù)據(jù)對所述設(shè)定電流值進行補償?shù)玫窖a償后的設(shè)定電流，并根據(jù)補償后的設(shè)定電流控制所述前向輸出通道模塊輸出電流；
14、其中，所述補償參考數(shù)據(jù)為所述通道切換模塊接入校準模塊或所述負載時，根據(jù)所述電流測量通道模塊和所述電壓測量通道模塊的測量數(shù)據(jù)進行計算得到。
15、在其中一個實施例中，所述根據(jù)讀取的電流測量值、電壓測量值和預(yù)設(shè)的補償參考數(shù)據(jù)進行測量電流補償，得到補償后的電流，包括：根據(jù)電流測量值、電壓測量值、高端線阻和低端線阻，計算得到共模電壓；根據(jù)電流測量值、共模電壓、補償系數(shù)和量程系數(shù)，計算得到補償后的電流；
16、和/或
17、所述根據(jù)讀取的電流測量值、電壓測量值和預(yù)設(shè)的補償參考數(shù)據(jù)對所述設(shè)定電流值進行補償?shù)玫窖a償后的設(shè)定電流，包括：根據(jù)電流測量值、電壓測量值、高端線阻和低端線阻，計算得到共模電壓；根據(jù)設(shè)定電流值、共模電壓、補償系數(shù)和量程系數(shù)，計算得到補償后的設(shè)定電流。
18、在其中一個實施例中，所述補償參考數(shù)據(jù)包括補償系數(shù)、量程系數(shù)、高端線阻和低端線阻。
19、在其中一個實施例中，該方法還包括：...
【技術(shù)保護點】
1.一種電源板卡，其特征在于，包括控制模塊、前向輸出通道模塊、電流測量通道模塊、電壓測量通道模塊和通道切換模塊，所述控制模塊連接所述前向輸出通道模塊、所述電流測量通道模塊、所述電壓測量通道模塊和所述通道切換模塊，所述前向輸出通道模塊連接所述電流測量通道模塊，所述通道切換模塊連接所述電流測量通道模塊、所述電壓測量通道模塊和負載；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源板卡，其特征在于，所述控制模塊包括控制器和存儲器，所述控制器連接所述前向輸出通道模塊、所述電流測量通道模塊、所述電壓測量通道模塊、所述通道切換模塊和所述存儲器；所述控制器控制所述通道切換模塊接入校準模塊或所述負載時，獲取所述電流測量通道模塊和所述電壓測量通道模塊的測量數(shù)據(jù)發(fā)送至上位機，接收所述上位機根據(jù)所述測量數(shù)據(jù)計算得到的補償參考數(shù)據(jù)存入所述存儲器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源板卡，其特征在于，所述前向輸出通道模塊包括數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊U5和增益可編程功放模塊U6，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊U5連接所述控制模塊和所述增益可編程功放模塊U6，所述增益可編程功放模塊U6連接所述電流測量通道模塊。
4.根據(jù)權(quán)利
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源板卡，其特征在于，所述電壓測量通道模塊包括模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊U7、增益可編程運算放大模塊U8和減法器U9，所述減法器U9連接所述通道切換模塊和所述增益可編程運算放大模塊U8，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊U7連接所述增益可編程運算放大模塊U8和所述控制模塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源板卡，其特征在于，所述通道切換模塊包括開關(guān)HF、開關(guān)LF、開關(guān)HS、開關(guān)LS、開關(guān)K1、開關(guān)K2、開關(guān)K3、開關(guān)K4和開關(guān)K5；所述開關(guān)K1的第一端連接所述電流測量通道模塊和所述開關(guān)HF的靜觸點，所述開關(guān)K1的第二端連接所述電壓測量通道模塊和所述開關(guān)K4的第一端，所述開關(guān)HF的第一動觸點連接所述校準模塊的第一端，所述開關(guān)HF的第二動觸點連接所述負載的第一端，所述開關(guān)K4的第二端連接所述開關(guān)K3的第一端和所述開關(guān)HS的靜觸點，所述開關(guān)HS的第一動觸點連接所述校準模塊的第一端，所述開關(guān)HS的第二動觸點連接所述負載的第一端；所述開關(guān)K2的第一端連接所述電壓測量通道模塊和所述開關(guān)K5的第一端，所述開關(guān)K2的第二端連接接地端和所述開關(guān)LF的靜觸點，所述開關(guān)LF的第一動觸點連接所述校準模塊的第二端，所述開關(guān)LF的第二動觸點連接所述負載的第二端，所述開關(guān)K5的第二端連接所述K3的第二端和所述開關(guān)LS的靜觸點，所述開關(guān)LS的第一動觸點連接所述校準模塊的第二端，所述開關(guān)LS的第二動觸點連接所述負載的第二端。
7.一種電源板卡的精度補償方法，其特征在于，包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述補償參考數(shù)據(jù)包括補償系數(shù)、量程系數(shù)、高端線阻和低端線阻。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，還包括：
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，還包括：
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述量程系數(shù)根據(jù)所述電流測量通道模塊不同量程的最大值以及對應(yīng)增益計算得到。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，還包括：控制所述通道切換模塊接入校準模塊時，對各電流量程的精度進行校準。
14.一種測試機，其特征在于，包括上位機和權(quán)利要求1-6任意一項所述的電源板卡。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種電源板卡，其特征在于，包括控制模塊、前向輸出通道模塊、電流測量通道模塊、電壓測量通道模塊和通道切換模塊，所述控制模塊連接所述前向輸出通道模塊、所述電流測量通道模塊、所述電壓測量通道模塊和所述通道切換模塊，所述前向輸出通道模塊連接所述電流測量通道模塊，所述通道切換模塊連接所述電流測量通道模塊、所述電壓測量通道模塊和負載；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源板卡，其特征在于，所述控制模塊包括控制器和存儲器，所述控制器連接所述前向輸出通道模塊、所述電流測量通道模塊、所述電壓測量通道模塊、所述通道切換模塊和所述存儲器；所述控制器控制所述通道切換模塊接入校準模塊或所述負載時，獲取所述電流測量通道模塊和所述電壓測量通道模塊的測量數(shù)據(jù)發(fā)送至上位機，接收所述上位機根據(jù)所述測量數(shù)據(jù)計算得到的補償參考數(shù)據(jù)存入所述存儲器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源板卡，其特征在于，所述前向輸出通道模塊包括數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊u5和增益可編程功放模塊u6，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊u5連接所述控制模塊和所述增益可編程功放模塊u6，所述增益可編程功放模塊u6連接所述電流測量通道模塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源板卡，其特征在于，所述電流測量通道模塊包括模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊u2、增益可編程運算放大模塊u3、減法器u4和檔位調(diào)節(jié)電路，所述檔位調(diào)節(jié)電路連接所述前向輸出通道模塊、所述通道切換模塊和所述控制模塊，所述減法器u4連接所述檔位調(diào)節(jié)電路和所述增益可編程運算放大模塊u3，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊u2連接所述增益可編程運算放大模塊u3和所述控制模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源板卡，其特征在于，所述電壓測量通道模塊包括模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊u7、增益可編程運算放大模塊u8和減法器u9，所述減法器u9連接所述通道切換模塊和所述增益可編程運算放大模塊u8，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊u7連接所述增益可編程運算放大模塊u8和所述控制模塊。
6.根據(jù)權(quán)利...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：賈忠營，李冬生，王宇航，孟令武，王雷，鄭忠明，周瑞杰，楊鵬，
申請(專利權(quán))人：杭州長川科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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