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本技術(shù)公開一種軟Tray盤移載組件,包括:沿運(yùn)料方向延伸的安裝殼體、安裝于安裝殼體一端的電機(jī)和可轉(zhuǎn)動地安裝于安裝殼體內(nèi)的絲桿,一端與電機(jī)的輸出軸傳動連接的絲桿上通過螺紋連接有至少一個活動基板,活動基板的上表面安裝有一用于與料盤接觸的載板,活...該專利屬于道晟半導(dǎo)體(蘇州)有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過道晟半導(dǎo)體(蘇州)有限公司授權(quán)不得商用。