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    下載研磨用組合物的技術資料

    文檔序號:43433163

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    [課題]本發明的課題在于,提供一種新型的研磨用組合物,其能夠減少多晶硅等應被研磨的研磨對象物的殘留,并且也能夠抑制凹陷。[解決方案]一種研磨用組合物,其為包含膠體二氧化硅、堿金屬鹽和水的、pH為9.0~11.5的研磨用組合物,其中,(i)所...
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