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本技術公開了一種多功能晶圓清洗裝置，包括清洗艙、晶圓夾槽和自動刷洗組件，晶圓夾槽有若干組，間隔地固定于清洗艙底部；晶圓夾槽上方設置一凹陷底座，凹陷底座中設置有若干相互平行的導輪；每一晶圓夾槽上方對應設置一自動刷洗組件；自動刷洗組件包括升降桿...該專利屬于上海華嶺申瓷集成電路有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海華嶺申瓷集成電路有限責任公司授權不得商用。
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本技術公開了一種多功能晶圓清洗裝置，包括清洗艙、晶圓夾槽和自動刷洗組件，晶圓夾槽有若干組，間隔地固定于清洗艙底部；晶圓夾槽上方設置一凹陷底座，凹陷底座中設置有若干相互平行的導輪；每一晶圓夾槽上方對應設置一自動刷洗組件；自動刷洗組件包括升降桿...