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本技術(shù)公開了一種基于脈沖調(diào)制技術(shù)的薄膜沉積射頻裝置，涉及薄膜沉積射頻技術(shù)領(lǐng)域，包括裝置柜組和輔助組件，所述裝置柜組的底部左右兩側(cè)對稱安裝有三角架，且三角架靠近裝置柜組垂直中軸線的一些安裝有移動組件，而且裝置柜組的頂部安裝有射頻組件，所述輔助...該專利屬于蘇州光筑激光設(shè)備有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過蘇州光筑激光設(shè)備有限公司授權(quán)不得商用。