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本發(fā)明提供評價方法、搜索方法以及搜索系統(tǒng)。目的在于,提供用于評價截面圖像中出現(xiàn)的形狀的技術(shù)。代表性的本發(fā)明的評價方法之一評價目標形狀與電子顯微鏡圖像的截面形狀之差,評價方法的特征在于,具有:第一步驟,測定所述截面形狀的特征性的尺寸;第二步驟...該專利屬于株式會社日立高新技術(shù)所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過株式會社日立高新技術(shù)授權(quán)不得商用。