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本技術(shù)提供一種異形熱場(chǎng)中單晶直徑的測(cè)量裝置，其包括：監(jiān)控設(shè)備一、監(jiān)控設(shè)備二和控制器，所述控制器用于切換所述監(jiān)控設(shè)備一和所述監(jiān)控設(shè)備二的工作狀態(tài)；所述監(jiān)控設(shè)備一和所述監(jiān)控設(shè)備二的監(jiān)控視野分別位于水冷套的內(nèi)、外兩側(cè)，以監(jiān)控不同時(shí)期的硅液溫度或單...該專利屬于內(nèi)蒙古中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過內(nèi)蒙古中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司授權(quán)不得商用。