溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本申請提出了晶圓清洗裝置和晶圓處理設備。晶圓清洗裝置包括箱體及其內部的清洗組件，箱體具有頂蓋、側壁和底板，頂蓋包括固定蓋板、活動門和固定接液盤，固定蓋板中間位置設有開口，活動門安裝于開口處并能夠相對于固定蓋板水平移動以打開和封閉開口；活動門...
該專利屬于華海清科股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過華海清科股份有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。