溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明公開了一種分選固晶精度補償方法，該方法包括以下步驟：使用分選設備對晶粒進行分選；采集不同型號基板最近一次加工時的歷史數據，并對采集的歷史數據根據基板型號進行分類，同時建立數據庫將數據存儲；將準備加工的基板與數據庫中的數據進行匹配，獲取...該專利屬于深圳市智立方自動化設備股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過深圳市智立方自動化設備股份有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明公開了一種分選固晶精度補償方法，該方法包括以下步驟：使用分選設備對晶粒進行分選；采集不同型號基板最近一次加工時的歷史數據，并對采集的歷史數據根據基板型號進行分類，同時建立數據庫將數據存儲；將準備加工的基板與數據庫中的數據進行匹配，獲取...