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本實(shí)用新型公開了一種用于生產(chǎn)薄膜太陽(yáng)能電池的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，跨越設(shè)置在第一區(qū)域和第二區(qū)域，其中，第一區(qū)域的潔凈度高于第二區(qū)域；該化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)包含依次連接的加載臺(tái)、第一承載室、多個(gè)低壓化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室、第二承載室和卸載臺(tái)；其中，該化學(xué)...該專利屬于理想能源設(shè)備（上海）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過理想能源設(shè)備（上海）有限公司授權(quán)不得商用。