一種用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)技術方案

本實用新型專利技術公開了一種用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)，跨越設置在第一區(qū)域和第二區(qū)域，其中，第一區(qū)域的潔凈度高于第二區(qū)域；該化學氣相沉積系統(tǒng)包含依次連接的加載臺、第一承載室、多個低壓化學氣相沉積反應室、第二承載室和卸載臺；其中，該化學氣相沉積系統(tǒng)整體呈弓形設置；該加載臺和卸載臺設置在第一區(qū)域中；該第一承載室、多個低壓化學氣相沉積反應室和第二承載室設置于第二區(qū)域中。由于本實用新型專利技術的化學氣相沉積系統(tǒng)整體設置為弓形，因此其加載臺和卸載臺都設置在潔凈度較高的第一區(qū)域中，故無需設置專門的回傳機構，保證襯底在沉積過程中不受污染的同時也降低了系統(tǒng)的生產成本。同時，可有效降低該化學氣相沉積系統(tǒng)的占地面積。（*該技術在2020年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種化學氣相沉積系統(tǒng)，尤其涉及一種用于生產薄膜太陽能電池 的電極的低壓化學氣相沉積系統(tǒng)。
技術介紹
薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電，其生產過程能耗低，具備大幅度降低原 材料和制造成本的潛力。因此，目前市場對薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長，而制造薄膜 太陽能電池的技術更成為近年來的研究熱點。薄膜太陽能電池的制造過程是在襯底(如玻璃基板)上沉積多層薄膜以形成電極， 因此需要一整套的化學氣相沉積系統(tǒng)。如沉積透明薄膜電極時，就需要一個低壓化學氣相 沉積系統(tǒng)來實現。如圖1所示，圖1是現有技術中低壓化學氣相沉積系統(tǒng)的結構示意圖。該低壓化 學氣相沉積系統(tǒng)1為直線型系統(tǒng)，包括呈直線型依次排列的加載臺11、第一承載室12、多個 低壓化學氣相沉積反應室13、第二承載室14和卸載臺15。其中，為防止襯底在加載時受到 污染，加載臺11設置在潔凈度較高的第一區(qū)域101 ；而第一承載室12、多個低壓化學氣相沉 積反應室13、第二承載室14和卸載臺15則設置于第二區(qū)域102。薄膜太陽能電池的電極沉積過程為襯底在第一區(qū)域101內通過加載臺11加載到 化學氣相沉積系統(tǒng)中，加載后的襯底在第一承載室12內進行預處理，包括對該第一承載室 12抽真空，噴入氣體對襯底進行清潔，保持襯底的真空潔凈度，并對襯底進行加熱處理，隨 后將襯底依次送入所述的多個沉積反應室13中，該沉積反應室13在真空狀態(tài)下保持一定 的溫度和壓強，通過通入反應氣體，在襯底表面沉積多層薄膜，最后經過第二承載室14，沉 積完成后的襯底和薄膜在這個第二承載室14中完成真空和大氣之間的工作環(huán)境的切換， 并且冷卻襯底和薄膜后，通過卸載臺15卸載沉積有薄膜的襯底。為防止沉積有薄膜的襯底受到污染，需要將該沉積有薄膜的襯底傳輸送回到潔凈 度要求較高的第一區(qū)域101，因此所述的低壓化學氣相沉積系統(tǒng)需要另外再設置一個回傳 機構16 (如圖1所示)，將已經沉積有薄膜的襯底由卸載臺15傳輸回到位于第一區(qū)域101 內。如上所述的現有技術的低壓化學氣相沉積系統(tǒng)，需要設置有專門的回傳機構16， 該回傳機構16的長度基本等于整個低壓化學氣相沉積系統(tǒng)的長度，極大的增加了整個系 統(tǒng)的制造成本，也增大了系統(tǒng)的占地面積，不能滿足低壓化學氣相沉積系統(tǒng)低成本化、集約 化的要求。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)， 以解決現有技術中需要設置專門的回傳機構，使得化學氣相沉積系統(tǒng)制造成本高、占地面 積大的問題。本技術的技術方案是提供一種用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系 統(tǒng)，跨越設置在潔凈度不同的第一區(qū)域和第二區(qū)域，其中，第一區(qū)域的潔凈度高于第二區(qū) 域；該化學氣相沉積系統(tǒng)包含依次連接的加載臺、第一承載室、多個化學氣相沉積反應室、 第二承載室和卸載臺；特點是所述的化學氣相沉積系統(tǒng)整體呈弓形設置；其中，所述的加載臺和卸載臺設置在第一區(qū)域中；所述的第一承載室、多個化學氣相沉積反應室和第二承載室設置于第二區(qū)域中。其中，所述的加載臺與第一承載室依次連接構成第一部分，即為該弓形化學氣相 沉積系統(tǒng)的其中一個弓翼部分；所述的卸載臺與第二承載室依次連接構成第三部分，即為該弓形化學氣相沉積系 統(tǒng)的另一個弓翼部分；所述的至少一個化學氣相沉積反應室作為中間連接反應室構成第二部分，即為該 弓形化學氣相沉積系統(tǒng)的弓身部分。進一步，所述的化學氣相沉積系統(tǒng)的第一部分還包含依次連接的多個首部化學氣 相沉積反應室，其設置在第一承載室與中間連接反應室之間，位于第二區(qū)域。所述的化學氣相沉積系統(tǒng)的第三部分還包含依次連接的多個尾部化學氣相沉積 反應室，其設置在第二承載室與中間連接反應室之間，位于第二區(qū)域。在所述的加載臺與第一承載室之間、第一承載室與首個化學氣相沉積反應室之 間、卸載臺與第二承載室之間、以及第二承載室與最后一個化學氣相沉積反應室之間均設 置有隔離閥門。所述的化學氣相沉積反應室是低壓化學氣相沉積反應室。所述的第二區(qū)域內設置維修區(qū)域，該維修區(qū)域被所述的弓形化學氣相沉積系統(tǒng)圍 設形成。在上述的用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)中，由于該化學氣相沉積 系統(tǒng)整體設置為弓形，因此其加載臺和卸載臺都設置在潔凈度較高的第一區(qū)域中，因而無 需設置專門的回傳機構將沉積有薄膜的襯底回傳至第一區(qū)域，即可在卸載臺內直接卸載沉 積有薄膜的襯底，保證襯底在沉積過程中不受污染的同時也降低了系統(tǒng)的生產成本。同時，由于該化學氣相沉積系統(tǒng)整體設置為弓形，與現有技術相比，有效降低了所 述化學氣相沉積系統(tǒng)的占地面積，同時，被弓形化學氣相沉積系統(tǒng)圍繞的區(qū)域可專門設置 成維修區(qū)域，無需另外占地來設置該維修區(qū)域，能在進一步降低系統(tǒng)占地面積的同時，做到 更有效的利用占地面積而不被浪費，達到集約化的要求。附圖說明圖1是現有技術中用于生產薄膜太陽能電池的低壓化學氣相沉積系統(tǒng)的結構示 意圖。圖2是本技術的用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)的一種實施 例的結構示意圖。圖3是本技術的用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)的另一種實 施例的結構示意圖。具體實施方式以下結合圖2 圖3，詳細說明本技術的幾種優(yōu)選實施方式。實施例1請參見圖2，是本技術的用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)的一 種實施例的結構示意圖。該化學氣相沉積系統(tǒng)2整體呈弓形設置，包括依次連接的加載臺 21、第一承載室22、多個低壓化學氣相沉積反應室23、第二承載室M和卸載臺25。其中，所述的加載臺21和第一承載室22依次連接構成的第一部分為該弓形的其 中一個弓翼部分；所述的第二承載室M和卸載臺25依次連接構成的第三部分為該弓形的 另一個弓翼部分；而多個低壓化學氣相沉積反應室23依次連續(xù)排列構成的第二部分則為 該弓形的弓身部分。同時，所述的化學氣相沉積系統(tǒng)2的設置跨越潔凈度不同的第一區(qū)域201和第二 區(qū)域202。其中，由于該化學氣相沉積系統(tǒng)2整體呈弓形設置，因此所述的加載臺21和卸載 臺25都設置在清潔度要求較高的第一區(qū)域201中，而第一承載室22、多個低壓化學氣相沉 積反應室23和第二承載室M則設置于第二區(qū)域202中。也就是說，所述化學氣相沉積系統(tǒng)2的第一部分由第一區(qū)域201跨越至第二區(qū)域 202，其中，所述的加載臺21設置于第一區(qū)域201內，而所述的第一承載室22設置在第二區(qū) 域202內。并且在所述的加載臺21與第一承載室22之間設置有隔離閥門27。所述化學氣相沉積系統(tǒng)2的第三部分也同樣由第一區(qū)域201跨越至第二區(qū)域202， 其中，所述的卸載臺25設置于第一區(qū)域201內，而所述的第二承載室M則設置在第二區(qū)域 202內。并且在所述的卸載臺25與第二承載室M之間設置有隔離閥門27。所述化學氣相沉積系統(tǒng)2的第二部分連接設置于上述的第一部分和第三部分之 間。其中，該第二部分的首尾兩個低壓化學氣相沉積反應室23分別通過隔離閥門27連接 第一部分的第一承載室22和第三部分的第二承載室對，從而構成完整的弓形化學氣相沉 積系統(tǒng)2。所述的第二區(qū)域202內設置維修區(qū)域觀，該維修區(qū)域觀被所述的弓形化學氣相沉 積系統(tǒng)2圍設形成。在薄膜太陽能電池的電極沉積過程中，襯底首先在第一區(qū)域201內通過加載臺21 加載到化學氣相沉積系統(tǒng)2中的第一部分，也就是本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)，跨越設置在潔凈度不同的第一區(qū)域和第二區(qū)域，其中，第一區(qū)域的潔凈度高于第二區(qū)域；該化學氣相沉積系統(tǒng)包含依次連接的加載臺、第一承載室、多個化學氣相沉積反應室、第二承載室和卸載臺；其特征在于：所述的化學氣相沉積系統(tǒng)整體呈弓形設置；其中，所述的加載臺和卸載臺設置在第一區(qū)域中；所述的第一承載室、多個化學氣相沉積反應室和第二承載室設置于第二區(qū)域中。

【技術特征摘要】
1.一種用于生產薄膜太陽能電池的化學氣相沉積系統(tǒng)，跨越設置在潔凈度不同的第一 區(qū)域和第二區(qū)域，其中，第一區(qū)域的潔凈度高于第二區(qū)域；該化學氣相沉積系統(tǒng)包含依次連 接的加載臺、第一承載室、多個化學氣相沉積反應室、第二承載室和卸載臺；其特征在于所述的化學氣相沉積系統(tǒng)整體呈弓形設置；其中，所述的加載臺和卸載臺設置在第一區(qū)域中；所述的第一承載室、多個化學氣相沉積反應室和第二承載室設置于第二區(qū)域中。2.如權利要求1所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，該化學氣相沉積系統(tǒng)包含三 個部分所述的加載臺與第一承載室依次連接構成第一部分，即為該弓形化學氣相沉積系統(tǒng)的 其中一個弓翼部分；所述的卸載臺與第二承載室依次連接構成第三部分，即為該弓形化學氣相沉積系統(tǒng)的 另一個弓翼部分；所述的至少一個化學氣相沉積反應室作為中間連接反應室構成第二部分，即為該弓形 化學氣相沉積系統(tǒng)的弓身部分。3.如權利要求2所述的化學氣相沉積...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：李一成，
申請(專利權)人：理想能源設備上海有限公司，
類型：實用新型
國別省市：31[中國|上海]