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本發明是一種投影光刻機中的硅片臺微旋轉機構，它包括拉簧、硅片臺、止推軸承、基座、調節螺栓、螺紋副；調節螺栓被固定在位于基座的螺紋副上，調節螺栓的前端為球型，拉簧的左端套在硅片臺上，拉簧的右端掛在基座上，硅片臺始終與調節螺栓保持接觸。本發明能...
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