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本實用新型涉及一種用于大尺寸基板鍍膜的氣體分配裝置,其特征在于:包括一個主進氣管(3),主進氣管(3)的兩端通過相應的氣體通道(3a、3b)分別與一個氣體分配管(4、5)的一端連接,兩個氣體分配管分別與Y形匯合通道(6)的兩對稱型腔相連接形...該專利屬于蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司授權不得商用。