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    下載Low-E玻璃的真空鍍膜操作中將基片輸入負壓室的系統的技術資料

    文檔序號:6793048

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    本發明涉及Low-E玻璃的真空鍍膜操作中的設備,特別是一種Low-E玻璃的真空鍍膜操作中將基片輸入負壓室的系統。它包括負壓室,其特征在于:該負壓室具有一入口閘門,該入口閘門前具有基片輸送帶;該負壓室上具有進氣閥和真空抽氣口,該真空抽氣口連接...
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