溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本實用新型涉及一種光掩模清洗機的液體分配盤，屬于光掩模清洗機技術領域。主要包括盤體、貫穿盤體的安裝孔以及設置在盤體內兩個獨立的第一液體流道和第二液體流道，所述的第一液體流道由第一環形道和與第一環形道相通的進液流道及出液流道構成，六個以上的出...
該專利屬于徐飛所有，僅供學習研究參考，未經過徐飛授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。