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本實(shí)用新型公開了一種晶圓測(cè)試裝置，所述晶圓測(cè)試裝置包括一套復(fù)合探針卡，所述復(fù)合探針卡包括：至少一組測(cè)量探針卡，所述測(cè)量探針卡中包括用于測(cè)量對(duì)應(yīng)晶片的電信號(hào)的測(cè)量探針，至少一組熔斷探針卡，所述熔斷探針卡中包括用于對(duì)對(duì)應(yīng)晶片進(jìn)行修調(diào)或者編程的熔...該專利屬于無錫中星微電子有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過無錫中星微電子有限公司授權(quán)不得商用。