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本發(fā)明公開(kāi)了一種干冰微粒噴射清洗裝置，屬于半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括CO2供應(yīng)系統(tǒng)、清洗系統(tǒng)和真空系統(tǒng)；CO2供應(yīng)系統(tǒng)為清洗系統(tǒng)提供清洗所需CO2，真空系統(tǒng)為清洗系統(tǒng)提供真空環(huán)境；CO2供應(yīng)系統(tǒng)和真空系統(tǒng)分別連接于清洗系統(tǒng)。利用該裝置時(shí)...該專(zhuān)利屬于中國(guó)科學(xué)院微電子研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)中國(guó)科學(xué)院微電子研究所授權(quán)不得商用。