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    下載硅片的制絨酸洗的方法的技術(shù)資料

    文檔序號:8131839

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    本發(fā)明公開了一種硅片的制絨酸洗的方法。該方法包括使硅片依次經(jīng)過下述步驟處理:預(yù)清洗、第一次水洗、堿制絨、第二次水洗、第一次酸洗、第二次酸洗、第三次水洗、慢提拉、以及烘干。應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案,硅片的制絨酸洗的方法只需添加一個酸槽,采用兩步酸...
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