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本實(shí)用新型目的一種用于異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池薄膜沉積系統(tǒng)，包括依次設(shè)置的承載室、三個(gè)緩沖室、兩個(gè)以上沉積室以及卸載室；其中，所述承載室和所述卸載室分別用于裝載和卸載承載盤(pán)，所述緩沖室具隔離兩種鍍膜機(jī)制，且至少有一個(gè)具有承載盤(pán)加熱機(jī)構(gòu)；每個(gè)沉積室分...該專(zhuān)利屬于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)吉富新能源科技(上海)有限公司授權(quán)不得商用。