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本實用新型涉及的真空腔包括：外殼，具有用于收容或移送被處理體的空間；排氣槽，形成在所述外殼的內側面上；排氣孔，形成在所述排氣槽的一面上，并貫穿所述外殼；以及排氣泵，與所述排氣孔連接，用于排出所述外殼內部的氣體。本實用新型可降低腔體的制造成本...
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