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本實用新型提供了一種用于晶圓的退火舟以及退火裝置，所述用于晶圓的退火舟包括基座和設置在基座表面的一圓弧形側壁，所述側壁上平行設置有多個水平凹槽，所述凹槽內壁上設置有至少三個的突起。本實用新型的優點在于，實現了在臥式爐上讓晶圓水平進行熱處理，...
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