本實用新型專利技術提供了一種用于晶圓的退火舟以及退火裝置，所述用于晶圓的退火舟包括基座和設置在基座表面的一圓弧形側壁，所述側壁上平行設置有多個水平凹槽，所述凹槽內壁上設置有至少三個的突起。本實用新型專利技術的優點在于，實現了在臥式爐上讓晶圓水平進行熱處理，舟在放置于槳的一端時，即使槳發生翹曲差異，也不會造成晶圓的傾斜，不會對晶圓側面造成損傷，且晶圓側邊也不再承擔本身重量，有效減少崩邊和缺口等現象。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）
【技術實現步驟摘要】
本技術是關于一種晶圓加固舟，特別涉及一種能夠降低晶圓在退火過程中表面損傷的用于晶圓的退火舟以及退火裝置。
技術介紹
晶圓的退火加固エ藝中需要將晶圓置于專門的支架上，業內通常將此加固架稱之為“舟”。附圖IA所示是現有技術中ー種典型采用加固舟的退火裝置結構示意圖，包括槳 11、舟12和晶圓13。槳11水平放置，一端固定在可以前后移動的導軌(未圖示)上，另一端懸空可以自由進出爐管(未圖示)進行熱處理。舟12放置于槳11的懸空端，并具有U型卡槽。晶圓13垂直放入舟12的U型卡槽內。附圖IB所示是沿附圖IA箭頭所示方向的舟12和晶圓13的位置關系視圖，從附圖IB可以看出，晶圓13的重量僅Φ晶圓13與舟12的幾個接觸點支持。現有技術的缺點在于晶圓13垂直放置，與舟12的接觸點承受硅片的重量，高溫過程中，晶圓13側邊會有損傷；如果是在氧氣氣氛中退火，晶圓13與舟12接觸部分，在高溫氧化過程中，接觸到的氧氣較少，氧化層必然較薄，后續腐蝕エ藝會將此差異放大，造成側邊亮點；晶圓13重量導致槳11發生彈性形變，裝片多槳懸空端下降，裝片少懸空端上升，晶圓13不會完全豎直，要么前傾，要么后仰，傾斜會造成晶圓13邊緣與舟12的卡槽之間產生應力，高溫時下晶圓13的邊緣會產生崩邊。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是，提供一種用于晶圓的退火舟以及退火裝置，能夠降低晶圓碎裂、崩邊和缺ロ等現象，提高器件面的質量。為了解決上述問題，本技術提供了一種用于晶圓的退火舟以及退火裝置，一種用于晶圓的退火舟，包括基座和設置在基座表面的一圓弧形側壁，所述側壁上平行設置有多個水平凹槽，所述凹槽內壁上設置有至少三個的突起。作為可選的技術方案，所述圓弧形側壁的圓弧形角度為180度。作為可選的技術方案，所述突起的頂端的面積為1mm。本技術進ー步提供了一種用于晶圓的退火裝置，包括槳和舟，所述舟設置于槳的一端，所述舟包括基座和設置在基座表面的一圓弧形側壁，所述側壁上平行設置有多個水平凹槽，所述凹槽內壁上設置有至少三個的突起。作為可選的技術方案，所述圓弧形側壁的圓弧形角度為180度。作為可選的技術方案，所述突起的頂端的面積為1mm。本技術的優點在于，實現了在臥式爐上讓晶圓水平進行熱處理，舟在放置于槳的一端吋，即使槳發生翹曲差異，也不會造成晶圓的傾斜，不會對晶圓側面造成損傷，且晶圓側邊也不再承擔本身重量，有效減少崩邊和缺ロ等現象。附圖說明附圖IA所示是現有技術中ー種典型采用加固舟的退火裝置結構示意圖。附圖IB所不是沿附圖IA箭頭所不方向的舟和晶圓的位置關系視圖。附圖2A所示是本具體實施方式所述退火舟的結構剖視圖。附圖2B是附圖2A沿箭頭方向的俯視圖。具體實施方式接下來結合附圖詳細介紹本技術所述ー種用于晶圓的退火舟以及退火裝置的具體實施方式。附圖2A所示是本具體實施方式所述退火舟的結構剖視圖，包括舟22和晶圓23。附圖2B是附圖2A沿箭頭方向的俯視圖。本實施方式中，所述晶圓23為單晶硅晶圓。該裝置可以放置在槳的一端形成完整的退火裝置，該裝置與槳之間的示意圖請參考附圖IA所示。參考附圖2A和附圖2B所示，所述舟22包括基座221和設置在基座221表面的一圓弧形側壁222，所述側壁222上平行設置有多個水平凹槽223，所述凹槽223內壁上設置有至少三個突起224、225和226。待加固的晶圓23水平放置，用于后續形成器件的器件面向下，器件面并通過邊緣三個突起224、225和226與舟22接觸，硅片重量由器件面邊緣承擔。而舟22的水平凹槽223僅用于限定晶圓23的位置，并不與晶圓23完全卡死。本具體實施方式中，所述圓弧形側壁的圓弧形角度為180度，保證晶圓23既能夠順利放入至由側壁222圍攏的空間中，又可以對晶圓23形成最充分的支撐。所述突起的頂端的面積為1_，略小于后續對器件面進行邊緣倒角エ藝所消耗的硅材料的尺寸(邊緣倒角所消耗掉邊緣硅大于I. 1_)，這樣可以保證高溫退火造成的損傷可以通過后續的減薄和邊緣倒角完全去除。顯然，這樣的舟22實現了在臥式爐上讓晶圓水平進行熱處理。舟22在放置于槳的一端吋，即使槳發生翹曲差異，也不會造成晶圓23的傾斜，不會對晶圓23側面造成損傷，且晶圓23側邊也不再承擔本身重量，有效減少崩邊和缺ロ等現象。綜上所述，雖然本技術已用較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本技術，本技術所屬
中具有通常知識者，在不脫離本技術的精神和范圍內，當可作各種的更動與潤飾，因此本技術的保護范圍當視權利要求書所申請的專利范圍所界定者為準。權利要求1.一種用于晶圓的退火舟，其特征在于，包括基座和設置在基座表面的一圓弧形側壁，所述側壁上平行設置有多個水平凹槽，所述凹槽內壁上設置有至少三個的突起。2.根據權利要求I所述的用于晶圓的退火舟，其特征在于，所述圓弧形側壁的圓弧形角度為180度。3.根據權利要求I所述的用于晶圓的退火舟，其特征在于，所述突起的頂端的面積為丄臟04.ー種用于晶圓的退火裝置，包括槳和舟，所述舟設置于槳的一端，其特征在干，所述舟包括基座和設置在基座表面的一圓弧形側壁，所述側壁上平行設置有多個水平凹槽，所述凹槽內壁上設置有至少三個的突起。5.根據權利要求4所述的用于晶圓的退火裝置，其特征在于，所述圓弧形側壁的圓弧形角度為180度。6.根據權利要求4所述的用于晶圓的退火裝置，其特征在于，所述突起的頂端的面積M Imm0專利摘要本技術提供了一種用于晶圓的退火舟以及退火裝置，所述用于晶圓的退火舟包括基座和設置在基座表面的一圓弧形側壁，所述側壁上平行設置有多個水平凹槽，所述凹槽內壁上設置有至少三個的突起。本技術的優點在于，實現了在臥式爐上讓晶圓水平進行熱處理，舟在放置于槳的一端時，即使槳發生翹曲差異，也不會造成晶圓的傾斜，不會對晶圓側面造成損傷，且晶圓側邊也不再承擔本身重量，有效減少崩邊和缺口等現象。文檔編號H01L21/673GK202633251SQ201220185498公開日2012年12月26日 申請日期2012年4月27日 優先權日2012年4月27日專利技術者葉斐, 王中黨, 蔣愛國 申請人:上海新傲科技股份有限公司本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種用于晶圓的退火舟，其特征在于，包括基座和設置在基座表面的一圓弧形側壁，所述側壁上平行設置有多個水平凹槽，所述凹槽內壁上設置有至少三個的突起。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：葉斐，王中黨，蔣愛國，
申請(專利權)人：上海新傲科技股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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