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提供一種基板處理設備，所述基板處理設備包括：處理室，所述處理室提供處理基板的空間；排氣管，所述排氣管連接至所述處理室且提供通道，氣體經過所述通道從所述處理室排出到所述處理室外部；泵，所述泵安裝在所述排氣管上；以及閥，所述閥安裝在所述處理室和...
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