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本實用新型公開了一種基板搬送裝置,包括基座、基板支撐臺、支撐板、主導軌、流板導軌、流板上導軌、連接軸、電機,基板支撐臺和主導軌固定于基座上,支撐板固定于基板支撐臺上以支撐基板,流板導軌和流板上導軌分別連接于主導軌的兩側(cè),主導軌、流板導軌、流...該專利屬于蘇州松下生產(chǎn)科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經(jīng)過蘇州松下生產(chǎn)科技有限公司授權(quán)不得商用。