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一種碳化硅襯底（1）包括：基礎襯底（10），該基礎襯底（10）具有70mm或更大的直徑；和多個SiC襯底（20），該SiC襯底（20）由單晶碳化硅制成并且在平面圖中觀察時并排布置在基礎襯底（10）上。換句話說，多個SiC襯底（20）并排布置...
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