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本發明公開了一種芯片上的球形光學微腔，所述球形光學微腔由錐形硅支撐。與現有技術相比，本發明的芯片上的球形光學微腔尺寸可控、易于集成和保存。本發明還公開了芯片上的球形光學微腔的制備方法，制備方法簡單，制得的芯片上的球形光學微腔尺寸可控、品質因...
該專利屬于南京大學所有，僅供學習研究參考，未經過南京大學授權不得商用。

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