芯片上的球形光學微腔及其制備方法技術

本發明專利技術公開了一種芯片上的球形光學微腔，所述球形光學微腔由錐形硅支撐。與現有技術相比，本發明專利技術的芯片上的球形光學微腔尺寸可控、易于集成和保存。本發明專利技術還公開了芯片上的球形光學微腔的制備方法，制備方法簡單，制得的芯片上的球形光學微腔尺寸可控、品質因子高、易于集成和保存。?

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種芯片上的球形光學微腔，其特征在于：所述球形光學微腔由錐形硅支撐。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：姜校順，華士躍，肖敏，
申請(專利權)人：南京大學，
類型：發明
國別省市：