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本實用新型公開了一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備,該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備由箱體、基片架、加熱器、導桿、傳動輪、上橫梁、下橫梁構成,所述加熱器位于箱體兩側真空室壁上,沒有靶位的地方均設有加熱器,加熱器的數量是常規設計的1....該專利屬于深圳市正星光電技術有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過深圳市正星光電技術有限公司授權不得商用。
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本實用新型公開了一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備,該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備由箱體、基片架、加熱器、導桿、傳動輪、上橫梁、下橫梁構成,所述加熱器位于箱體兩側真空室壁上,沒有靶位的地方均設有加熱器,加熱器的數量是常規設計的1....