一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備制造技術

本實用新型專利技術公開了一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備，該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備由箱體、基片架、加熱器、導桿、傳動輪、上橫梁、下橫梁構成，所述加熱器位于箱體兩側真空室壁上，沒有靶位的地方均設有加熱器，加熱器的數量是常規設計的1.5倍，且加熱器采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻，最主要的是解決了現有技術無法完成基板兩面同時鍍膜的缺陷，降低了雙面膜產品的生產成本尺寸，提高了生產效率和產品的良率，其設計思路具有領先地位。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種平板顯示領域，尤其涉及到一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備。
技術介紹
如圖I所示加熱器為現有技術中的結構示意圖，圖中由箱體I、基片架2、加熱器3、導桿4、傳動輪5構成。目前的鍍膜設備采用雙面鍍膜的方式，設備有正反兩面區分，設備兩邊同時裝有 靶材，且裝載玻璃的基片架也分正反兩面，加熱器裝在真空室中心位置，上下為一個整體式，采用吊裝方式懸空掛起，在鍍膜過程中，在基片架的正反面分別裝載玻璃，鍍膜時裝有玻璃的基片架在真空室內行走，基片架的正反面分別位于中間加熱器的兩側，經過靶區通過磁控濺射的方式進行鍍膜，這種方式一次只能鍍玻璃的一面，如果玻璃的另外一面也需要鍍膜，則必須鍍完玻璃一面后，將鍍完一面的玻璃重新經過清洗，然后再次經過真空室進行鍍膜，即鍍膜工序要重復兩次才能完成，這樣不但浪費人力、財力、產量低而且玻璃經過多次周轉后其良率也會大大下降，而且由于加熱器是整體式，如果基板受熱不均勻時，無法進行局部溫度調整。因此現有技術相比較本專利技術而言存在以下不足之處①加熱器位于腔體中間位置，在基片架行走過程中，基片架兩側的玻璃分別位于加熱器的兩側，這樣每次只能完成玻璃基板一個表面的膜層制備；②每個腔體內的加熱器上下為一整體式，對于玻璃基板出現的溫度不均勻現象，無法采取分段式控制的方式來調節溫度；③基片架的設計本身分正反兩面，在鍍膜過程中，玻璃基板分別裝載在基片架的兩側，對于需要一次性完成玻璃基板兩個表面的膜層制備工作時，該基片架無法調節，其功能比較單一。整個真空腔體的結構設計，一次只能完成玻璃基板單面的膜層制備，如果玻璃基板兩個表面均需要制備膜層，現有技術的做法只能是制備完玻璃基板一個表面的膜層后，將玻璃基板再重復第一次鍍膜的工序去完成第二面膜層的制備，這種工藝在第二次制備膜層的過程中，會對第一次膜層的性能有所影響，并且由于二次鍍膜會造成良率的下降，總體生產成本較高。
技術實現思路
本專利技術要解決的技術問題在于提供了一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備。為解決上述技術問題，本專利技術通過以下方案來實現一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備，該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備由箱體、基片架、加熱器、導桿、傳動輪、上橫梁、下橫梁構成，所述加熱器位于箱體兩側真空室壁上，沒有靶位的地方均設有加熱器，加熱器的數量是常規設計的I. 5倍，且加熱器采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻。所述基片架分別卡在上橫梁與下橫梁兩側，實現單面鍍膜。所述基片架改成位于上橫梁與下橫梁中間，用卡具卡住固定，實現雙面鍍膜。所述加熱器采用上、中、下分段式加熱。該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備的正反兩面的靶位采用錯位排布，可以避免兩邊同時濺射時，正對靶位之間的干擾。此專利技術可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備是一種產量高、可同時完成基板兩面膜層的制備，適用于各種雙面膜產品，其制造成本遠低于現有技術，通過真空腔體內部結構的改善，采取多功能基片架，其所生產產品不僅含蓋了現有技術，最主要的是解決了現有技術無法完成基板兩面同時鍍膜的缺陷，降低了雙面膜產品的生產成本尺寸，提 高了生產效率和產品的良率，其設計思路具有領先地位。以下結合附圖對本專利技術作詳細說明圖I為現有技術的結構示意圖；圖2為本專利技術單面鍍膜結構示意圖；圖3為本專利技術雙面鍍膜結構示意圖。具體實施方式如圖2、圖3所示可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備，該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備由箱體I、基片架2、加熱器3、導桿4、傳動輪5、上橫梁6、下橫梁7構成，所述加熱器3位于箱體I兩側真空室壁上，如圖2所示傳動輪5與下橫梁7連接，基片架2分別卡在上橫梁6與下橫梁7兩側，實現單面鍍膜，如圖3所示基片架2改成位于上橫梁6與下橫梁7中間，用卡具8卡住固定，實現雙面鍍膜，加熱器3采用上、中、下分段式加熱。針對現有技術的不足之處，本專利技術通過對設備和工藝的完善，采取了可調節式多功能基片架2，上、中、下分段式加熱器3，且加熱器3置于兩側的腔體室壁上等，能夠實現玻璃兩面同時鍍膜，及雙面都要求鍍膜的產品可以一次性完成，節省了人力財力，大大提高了生產效率。加熱器3位于兩側真空室壁上，沒有靶位的地方均設有加熱器3，此種方式加熱器3的數量是常規設計的I. 5倍，且加熱器3采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻。基片架2具備多種功能，根據不同產品的要求可以調整基片架2來滿足，一方面該種基片架2可以實現設備兩邊同時上片鍍膜，即可以實現現有技術的功能；另一方面通過對基片架2框架結構的調整，可以實現玻璃基板兩面同時鍍膜的功能，即單片玻璃的雙面膜層的同步制備。正反兩面的靶位采用錯位排布，可以避免兩邊同時濺射時，正對靶位之間的干擾。該設備的夾具拋棄了傳統的簡單彈片式夾具，也不同于傳統的鑲嵌式夾具，對于超薄玻璃彈片式夾具會由于彈片彈性的不同影響玻璃的夾緊度，導致玻璃會出現由于夾不緊而掉片或者夾得過緊而有所彎曲的現象，最終都會導致玻璃破碎，傳統鑲嵌式夾具由于結構簡單，無法調整，不適用不同厚度的玻璃，如果保證厚玻璃的夾緊效果，則無法保證薄玻璃的夾緊效果，導致薄玻璃由于夾不緊而在基片架2上晃動，容易使玻璃因晃動而破碎。新的夾具結合了以上兩種夾具的優點，采用螺釘式彈簧夾具，與玻璃接觸部位采用圓點式接觸，對于不同厚度的玻璃利用彈簧的彈性來改善玻璃與夾具之間的距離，保證不管什么厚度的玻璃，夾具的圓點都能接觸到玻璃表面，保證玻璃都能夠夾緊。 此專利技術可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備提高了生產效率，降低了生產不良率與生產成本。權利要求1.一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備，其特征在于該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備由箱體(I)、基片架(2)、加熱器(3)、導桿(4)、傳動輪(5)、上橫梁(6)、下橫梁(7)構成，所述加熱器(3)位于箱體(I)兩側真空室壁上，沒有靶位的地方均設有加熱器(3)，加熱器(3)的數量是常規設計的I. 5倍，且加熱器(3)采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻。2.按照權利要求I或2所述的可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備，其特征在于所述基片架(2)分別卡在上橫梁￠)與下橫梁(7)兩側，實現單面鍍膜。3.按照權利要求I或2所述的可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備，其特征在于所述基片架(2)改成位于上橫梁(6)與下橫梁(7)中間，用卡具(8)卡住固定，實現雙面鍍膜。4.按照權利要求I所述的可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設備，其特征在于所述加熱器(3)采用上、中、下分段式加熱。5.根據權利要求I所述的可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備，其特征在于該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備的正反兩面的靶位采用錯位排布，可以避免兩邊同時濺射時，正對靶位之間的干擾。專利摘要本技術公開了一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備，該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備由箱體、基片架、加熱器、導桿、傳動輪、上橫梁、下橫梁構成，所述加熱器位于箱體兩側真空室壁上，沒有靶位的地方均設有加熱器，加熱器的數量是常規設計的1.5倍，且加熱器本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備，其特征在于：該可同時實現玻璃基板單、雙面鍍膜設備由箱體(1)、基片架(2)、加熱器(3)、導桿(4)、傳動輪(5)、上橫梁(6)、下橫梁(7)構成，所述加熱器(3)位于箱體(1)兩側真空室壁上，沒有靶位的地方均設有加熱器(3)，加熱器(3)的數量是常規設計的1.5倍，且加熱器(3)采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：姜翠寧，
申請(專利權)人：深圳市正星光電技術有限公司，
類型：實用新型
國別省市：