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本發明實施例提供一種基板清洗設備及基板清洗系統,涉及顯示器制造領域,能夠適應性通過補液單元向清洗單元補給清洗液,節省清洗液,縮短基板清洗設備重置的時間,避免流水線上由于兩臺基板清洗設備同時重置而引起的死機問題。該基板清洗設備包括相互連通的清...該專利屬于京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司授權不得商用。