溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明提供一種銅膜蝕刻工序控制方法及銅膜蝕刻液組合物的再生方法。本發(fā)明提供的利用近紅外分光儀的銅膜蝕刻工序控制方法，包括：(a)步驟，利用近紅外分光儀，同時(shí)分析液晶顯示裝置或半導(dǎo)體裝置制造工序中的銅膜蝕刻工序所用的銅膜蝕刻液組合物的至少1種...該專利屬于株式會(huì)社東進(jìn)世美肯所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)株式會(huì)社東進(jìn)世美肯授權(quán)不得商用。