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本發明屬于晶體硅太陽能電池制絨設備技術領域，具體涉及一種晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置。該裝置包括反應室、氣體管道、噴淋裝置和反應離子擋板，其中，噴淋裝置位于反應室的頂部，氣體管道上設置有流量控制器；硅片正面上方添加反應離子擋板。本發明可以...該專利屬于山東力諾太陽能電力股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過山東力諾太陽能電力股份有限公司授權不得商用。
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本發明屬于晶體硅太陽能電池制絨設備技術領域，具體涉及一種晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置。該裝置包括反應室、氣體管道、噴淋裝置和反應離子擋板，其中，噴淋裝置位于反應室的頂部，氣體管道上設置有流量控制器；硅片正面上方添加反應離子擋板。本發明可以...