【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于晶體硅太陽能電池制絨設備
，具體涉及一種晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置。
技術介紹
太陽能作為一種綠色能源，以其取之不竭、無污染、不受地域資源限制等優點越來越受到人們的重視。在太陽電池的研制歷程中曾使用過各種半導體，硅是其中最重要的一種。按豐度排列.硅是地球上第二大元素。硅是單元素半導體，無毒，廢棄硅對環境沒有污染。因此硅至今仍是太陽電池的最佳選用材料。在太陽能電池的制造工藝流程中，RIE制絨逐漸成為降低晶體硅表面反射率，提高陷光效果的重要方法，尤其是在多晶硅方面，大大的減少了硅的表面反射率，提高了電池的 轉化效率。但是，在后續電池可靠性方面，電池主柵的焊接拉力也隨著降低。這樣，在一定程度上增加組件的串聯電阻，降低組件效率和功率，在后期的組件穩定性留下了隱患。
技術實現思路
本專利技術的目的是針對上述存在的問題而提供的一種晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置，該裝置可控性好，靈活性高，適用于晶體硅太陽能電池的工業化生產。本專利技術的一種晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置采用的技術方案為包括反應室、氣體管道、噴淋裝置和反應離子擋板，其中，噴淋裝置位于反應室的頂部，反應氣體通過氣體管道由噴淋裝置進入反應室，氣體管道上設置有流量控制器；在硅片的制絨過程中，在硅片正面上方添加反應離子擋板，通過控制反應離子檔板的位置，實現電池主柵區域未制絨的效果。所述的反應離子擋板位于電池正面上方0-100cm。所述的反應離子擋板位于電池正面上方O. Ol-IOcm0反應離子擋板位于硅片正面電池主柵區域正上方，形狀與電池主柵區域的形狀一致。反應離子擋板的寬度為0-30cm ;所述的...
【技術保護點】
一種晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置，包括反應室、氣體管道、噴淋裝置，其特征在于，噴淋裝置位于反應室的頂部，反應氣體通過氣體管道由噴淋裝置進入反應室，氣體管道上設置有流量控制器，反應室中還設有反應離子擋板，置于需制絨硅片的正面上方。
【技術特征摘要】
1.一種晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置，包括反應室、氣體管道、噴淋裝置，其特征在于，噴淋裝置位于反應室的頂部，反應氣體通過氣體管道由噴淋裝置進入反應室，氣體管道上設置有流量控制器，反應室中還設有反應離子擋板，置于需制絨硅片的正面上方。2.根據權利要求I所述的晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置，其特征在于反應離子擋板位于娃片正面上方0-100cm。3.根據權利要求2所述的晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置，其特征在于反應離子擋板位于娃片正面上方O. Ol-IOcnio4.根據權利要求I所述的晶體硅太陽能電池RIE制絨裝置，其特征在于反應離子擋板位于硅片正面電池主柵區域正上方，形狀與電池主柵區域的形狀一致。5.根據權利要求4所述的晶體硅太陽能電池RIE制絨裝...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李秉霖，姜言森，任現坤，張春艷，程亮，賈河順，馬繼磊，孫繼峰，
申請(專利權)人：山東力諾太陽能電力股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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